[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置、压电元件及其制造方法

权利要求书

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：

流道形成基板，其具有连通于喷嘴开口的压力产生室；

压电元件，其具有设置于该流道形成基板的一侧上的第一电极、含有铅、钛、锆的压电体层以及第二电极，

所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层、和设置在该第一层的与所述压电体层相反侧的第二层，

在所述第二电极的与所述压电体层相反侧上设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成多个凸部。

2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述第一电极为，分别设于所述压电元件的多个作为实质性的驱动部的有源部上的独立电极，

所述第二电极为，多个所述有源部所共用的共同电极。

3.一种液体喷射装置，其特征在于：

具备权利要求1或2中所述的液体喷射头。

4.一种压电元件，其特征在于，

具备第一电极、含有铅、钛、锆的压电体层和第二电极，

所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层、和设在该第一层的与所述压电体层相反侧的第二层；

在所述第二电极的与所述压电体层相反侧上设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成多个凸部。

5.一种压电元件的制造方法，其特征在于，

所述压电元件具备第一电极、含有铅、钛、锆的压电体层和第二电极，

所述压电元件的制造方法包括以下工序：

通过气相沉积法而在所述压电体层上形成构成为所述第二电极的第一层的工序；

通过对所述压电体层和所述第一层进行图案形成并进行加热处理，从而使包含于所述压电体层中的铅吸附于所述第一层上，而形成由该铅聚集而成的多个凸部的工序。

6.如权利要求5所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

在形成多个所述凸部之后，还具备在所述第一层上形成第二层以形成所述第二电极的工序。