[发明专利]声波装置有效

申请号：	201410083368.9	申请日：	2014-03-07
公开（公告）号：	CN104038179B	公开（公告）日：	2018-07-03
发明（设计）人：	苏珊娜·库姆;库尔特·斯坦纳;艾伦·S·陈;查尔斯·E·卡彭特;扬·耶;让·布里奥;乔治·格拉马	申请（专利权）人：	Qorvo美国公司
主分类号：	H03H9/64	分类号：	H03H9/64
代理公司：	北京集佳知识产权代理有限公司 11227	代理人：	康建峰;李春晖
地址：	美国北卡***	国省代码：	美国;US
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摘要：
搜索关键词：	声波装置通孔变换器帽部焊点接触件壁层晶片级封装金属封闭开口基板晶片电连接基板耦接穿过制造
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【说明书】：

本发明涉及一种声波装置。在本文中所描述的实施例可以提供一种声波装置、一种制造声波装置的方法以及包括声波装置的系统。该声波装置可以包括在基板上的变换器，并且接触件与变换器耦接。声波装置还可以包括在该变换器周围限定封闭开口的壁层和帽部。通孔可以在接触之上穿过该帽部和壁层来设置，并且顶部金属可以设置在该通孔中。顶部金属可以在通孔中形成支柱并且在通孔上的帽部上形成焊点。支柱可以在焊点和接触件之间提供电连接。在一些实施例中，声波装置可以形成为基板晶片上的晶片级封装件。

技术领域

本公开的实施例总体涉及电子电路的领域，更具体地涉及声波装置。

背景技术

诸如表面声波(surface acoustic wave,SAW)装置和体声波(bulk acousticwave,BAW)装置等声波装置用于例如射频(radio frequency,RF)滤波器和变换器等许多应用。声波装置通常包括在基板上的一对变换器，其中焊点提供与变换器的电连接。由于设计和制造的限制，焊点通常紧挨着基板结构放置。这需要基板在形成声波装置的焊点之前被切割，并且这引起装置的较大足迹。

发明内容

本公开涉及一种用于形成声波装置的方法，包括：在压电基板的第一表面上形成壁层，所述压电基板具有形成在所述第一表面上的声波变换器和接触件，其中所述壁层形成在所述变换器周围并且具有在所述变换器之上的开口；在所述变换器之上形成在所述壁层上的帽部以封闭所述开口；形成穿过所述帽部的通孔，其中所述通孔在所述接触件上方延伸穿过所述壁层；以及在所述通孔中沉积顶部金属，其中所述顶部金属在所述通孔中形成支柱并且在所述帽部上形成焊点，以在所述焊点和所述接触件之间提供电连接。

本公开还涉及一种声波装置，包括：具有第一表面的压电基板；设置在所述第一表面上的声波变换器；与所述声波变换器耦接的接触件；在所述第一表面上的壁层，所述壁层设置在所述变换器周围并且在所述变换器之上限定开口；在所述壁层上的帽部，所述帽部封闭在所述变换器之上的开口；在所述接触件上方的、穿过所述帽部和所述壁层的通孔；在所述通孔上方的、所述帽部上的焊点；以及支柱，所述支柱设置在所述通孔中以在所述焊点和在所述接触件之间提供电连接。

附图说明

结合附图通过以下的详细描述将容易理解实施例。为了便于描述，相同的附图标记指代相同的结构元件。在附图的各个图中，出于示例而不是出于限制的目的示出了实施例。

图1示意性地示出了根据各个实施例的声波装置的侧面横截面视图。

图2示意性地示出了根据各个实施例的另一声波装置的侧面横截面视图。

图3是根据各个实施例的制造声波装置的方法的流程图。

图4A-4L示意性地示出了根据各个实施例的、在图3的方法中的各个操作之后的声波装置。

图5示出了根据各个实施例的具有外罩的声波装置。

图6示意性地示出了根据各个实施例的具有与连接器对准的支柱的声波装置的顶部横截面视图。

图7示意性地示出了根据各个实施例的具有偏离连接器的支柱的声波装置的顶部横截面视图。

图8示意性地示出了根据各个实施例的具有与多个支柱耦接的焊点的声波装置的顶部横截面视图。

图9示意性地示出了根据各个实施例的具有与多个连接器耦接的焊点的声波装置的顶部横截面视图。

图10示意性地示出了根据各个实施例的包括声波装置的示例性系统。