[发明专利]一种叠层式陶瓷加热体及其制备工艺

权利要求书

1.一种叠层式陶瓷加热体，其特征在于：它包括内层基片和两个外层基片，内层基片叠合于两个外层基片之间，内层基片和两个外层基片均由陶瓷原料和发热原料配制而成；内层基片由质量百分比为50-70%的陶瓷原料和质量百分比为30-50%的发热原料配制而成，外层基片由质量百分比为70-99%的陶瓷原料和质量百分比为1-30%的发热原料配制而成；

其中，陶瓷原料由以下质量百分比的原料组成：

Si₃N₄          65-98%

MgO          0.1-10%

Y₂O₃          0.1-5%

Al₂O₃          0.1-5%

SiO₂             0.1-5%

La₂O₃          0.1-5%

BN            0.1-5%；

其中，发热原料为MoSi₂或TiC或两种的混合物。

2.根据权利要求1所述的一种叠层式陶瓷加热体，其特征在于：内层基片由质量百分比为55-65%的陶瓷原料和质量百分比为35-45%的发热原料配制而成，外层基片由质量百分比为80-90%的陶瓷原料和质量百分比为10-20%的发热原料配制而成；

其中，陶瓷原料由以下质量百分比的原料组成：

Si₃N₄          75-90%

MgO          4-8%

Y₂O₃           2-4%

Al₂O₃          2-4%

SiO₂             2-4%

La₂O₃          2-4%

BN            2-4%；

其中，发热原料为MoSi₂、TiC中的一种或两种的混合物，两种的混合物由质量百分比为50-99.5%的MoSi₂和质量百分比为0.5-50%的TiC组成。

3.根据权利要求1所述的一种叠层式陶瓷加热体，其特征在于：内层基片由质量百分比为60%的陶瓷原料和质量百分比为40%的发热原料配制而成，外层基片由质量百分比为85%的陶瓷原料和质量百分比为15%的发热原料配制而成；

其中，陶瓷原料由以下质量百分比的原料组成：

Si₃N₄          80%

MgO          7%

Y₂O₃          3%

Al₂O₃          2%

SiO₂             3%

La₂O₃          2%

BN            3%；

其中，发热原料为MoSi₂、TiC中的一种或两种的混合物，两种的混合物由质量百分比为65-80%的MoSi₂和质量百分比为20-35%的TiC组成。