[发明专利]喷嘴及其制造方法

权利要求书

1.一种喷嘴，其包括多个贯穿该喷嘴形成的孔，所述孔连接所述喷嘴的一侧与所述喷嘴的相对侧，所述孔的每一个包括：

具有第一形状且位于所述喷嘴的所述一侧上的孔入口；

具有第二形状且位于所述喷嘴的所述相对侧上的孔出口，和

连接所述孔入口与所述孔出口的内部空间表面，

其中所述孔出口和所述孔入口由被连续弯成弧形的内部空间表面的至少一部分连接。

2.根据权利要求1所述的喷嘴，其中所述喷嘴的孔中的至少一个被设定为具有（a）作为椭圆形的第一形状和作为圆形的第二形状，（b）作为跑道形的第一形状和作为圆形的第二形状，（c）所述第一形状的周边包括多个紧密堆积的圆的外圆弧，其中所述外圆弧由类似曲线的圆角连接，或（d）内部空间表面，其具有从所述孔入口到所述孔出口旋转的截面。

3.根据权利要求1所述的喷嘴，其中所述孔入口具有第一形状，和所述孔出口具有不同于所述第一形状的第二形状。

4.根据权利要求1所述的喷嘴，其中所述喷嘴为燃料喷射器喷嘴。

5.包含根据权利要求1至4中任一项所述的喷嘴的燃料喷射器。

6.一种制造根据权利要求1至4中任一项所述的喷嘴的方法，该方法包括以下步骤：

(a)提供第一材料，该第一材料能够经历多光子反应；

(b)采用多光子过程通过使所述第一材料选择性反应，在所述第一材料内形成第一微结构化图案，其中所述多光子过程使得聚合被限制或局限于用于使所述第一材料曝光的聚焦束的焦域；

(c)在不同于所述第一材料的第二材料中复制所述第一微结构化图案以制作第一模具，该第一模具包括在所述第二材料中的第二微结构化图案；

(d)在不同于所述第二材料的第三材料中复制所述第二微结构化图案以制作第二模具，该第二模具包括在所述第三材料中的包括多个微结构的第三微结构化图案；

(e)在不同于所述第三材料的第四材料中复制所述第三微结构化图案以制作复制的结构；

(f)使所述复制的结构的第四材料平整化以使在所述第三微结构化图案中的所述多个微结构中的微结构顶部暴露；和

(g)去除所述第三材料获得在所述第四材料中具有多个孔的喷嘴，其中所述孔对应于所述第三微结构化图案中的所述多个微结构。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述第一微结构化图案包含多个离散微结构，和所述多个离散微结构包括离散螺旋微结构。

8.根据权利要求6所述的方法，其中在所述第一材料内形成所述第一微结构化图案的步骤包括曝光所述第一材料的至少一部分以引起多个光子的同时吸收。

9.根据权利要求8所述的方法，其中在所述第一材料内形成所述第一微结构化图案的步骤包括去除所述第一材料的曝光部分。

10.根据权利要求8所述的方法，其中在所述第一材料内形成所述第一微结构化图案的步骤包括去除所述第一材料的未曝光部分。

11.根据权利要求6所述的方法，其中在所述第二材料中复制所述第一微结构化图案包括电镀所述第一微结构化图案。

12.根据权利要求6所述的方法，其中所述第二微结构化图案实质上为所述第一微结构化图案的复制阴模。

13.根据权利要求6所述的方法，其中在所述第三材料中复制所述第二微结构化图案的步骤包括注模。

14.根据权利要求6所述的方法，其中所述第二模具包括聚合物。

15.根据权利要求6所述的方法，其中复制所述第三微结构化图案的步骤包括电镀所述第三微结构化图案或者用所述第四材料涂覆所述第三微结构化图案。

16.根据权利要求6所述的方法，其中复制所述第三微结构化图案的步骤包括用所述第四材料电镀所述第三微结构化图案。