[发明专利]一种晶圆可接受性测试的出货数据系统及其实施方案

权利要求书

1.一种晶圆可接受性测试的出货数据系统，其特征在于，所述系统包括：

第一判断模块，所述第一判断模块用以判断获取的晶圆可接受性测试的数据是否有缺失；

计算模块，所述计算模块与所述第一判断模块信号连接，所述计算模块用以计算每片晶圆各测试参数通过率；

数据输出模块，所述数据输出模块与所述计算模块信号连接，所述数据输出模块用以输出数据报告；以及

第二判断模块，所述第二判断模块与所述数据输出模块信号连接，所述第二判断模块用以判断是否需要生成所述数据报告。

2.如权利要求1所述的晶圆可接受性测试的出货数据系统，其特征在于，所述系统还包括：所述数据输出模块被固化于一显示装置中，以通过所述显示装置将所述数据报告输出。

3.一种晶圆可接受性测试的出货数据系统实施方案，其特征在于，应用于如权利要求1所述的新型晶圆可接受性测试的出货数据系统中，所述方案包括：

步骤一：当晶圆批次需要出货时，获取晶圆可接受性测试的所有数据以及定义与所述晶圆可接受性测试的所有数据相对应的出货规格；

步骤二：通过第一判断模块判断晶圆可接受性测试的数据是否有缺失；若数据有缺失，告知工程师补全数据，并再次进入步骤一；若数据没有缺失，进行步骤三；

步骤三：根据晶圆可接受性测试的工程师定义的所有出货规格，通过计算模块计算各个数据的通过率；

步骤四：通过第二判断模块判断是否需要出货报告；若工程师需要，则通过数据输出模块生成并输出包括通过率报告和测试数据报告的出货报告；若工程师不需要，则直接结束。

4.根据权利要求3所述的晶圆可接受性测试的出货数据系统实施方案，其特征在于，步骤三中，所述参数通过率报告包括显示客户编号、出货测试参数个数、合格的晶圆片数、出货参数规格书、测试时间和晶圆通过/未通过测试的判断结果。

5.根据权利要求4所述的晶圆可接受性测试的出货数据系统实施方案，其特征在于，步骤三中，所述通过率报告中以通过来表示所述晶圆批次合格，以未通过来表示所述晶圆批次不合格。

6.根据权利要求3所述的晶圆可接受性测试的出货数据系统实施方案，其特征在于，所述通过率报告中包括每片被测试的晶圆的各测试参数的通过率。

7.根据权利要求3所述的晶圆可接受性测试的出货数据系统实施方案，其特征在于，所述测试数据报告包括晶圆可接受性测试中各测试点的各测试参数的所有测试数据。