[发明专利]半导体工艺的指令执行的控制方法及控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工艺设备控制技术领域，特别涉及一种指令执行的控制方法。

背景技术

目前，半导体工艺中上位机和下位机之间的通讯通过上位机向下位机发送指令，下位机向上位机返回状态来实现。常见的驱动指令执行的方法采用顺序结构设计，即每次只能执行一个指令或者返回一个状态，当完成一个指令之后，再读取下一个指令的指令信息。此外，所有的指令信息和状态信息都在驱动模块中保存，造成了驱动程序响应时间长，效率比较低，同时指令信息和状态信息的配置只能在驱动程序中修改，非常繁琐，不利于扩展。

发明内容

本发明的主要目的旨在提供一种能够实现在异步驱动的指令执行的控制方法。

为达成上述目的，本发明提供一种指令执行的控制方法，用于在半导体工艺过程中控制半导体设备执行上位机发出的指令并向所述上位机反馈指令执行状态，所述指令执行的控制方法包括：对每一个指令创建对应的指令对象，所述指令对象中存储其对应指令的指令信息；对每一个指令创建对应的状态对象，所述状态对象中存储其对应指令的状态信息，所述状态信息包括指令完成条件及指令执行状态；接收所述上位机发出的指令；根据该指令对应的指令对象中所存储的指令信息控制所述半导体设备执行该指令，并根据该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件是否满足而更新该状态对象中的指令执行状态；当所述指令对应的状态对象的指令执行状态更新时，将更新的所述指令执行状态输出至所述上位机。

优选地，所述指令信息包括指令名称，指令执行条件，指令执行步骤，指令执行地址；所述状态信息还包括状态名称，状态更新通道的名称，状态检测地址。

优选地，所述指令执行的控制方法还包括在该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件满足时，更新该状态对象中的指令执行状态并通过所述状态更新通道输出至所述上位机；在该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件在预定时间内未满足时，更新该状态对象中的指令执行状态为指令执行失败，并将该指令执行失败的信息输出至所述上位机。

优选地，所述指令执行的控制方法还包括读取所述状态检测地址的变量值，当所述状态检测地址的变量值发生符合设定的变化时判断所述指令完成条件满足；当所述状态检测地址的变量值在所述预定时间内未发生符合所述设定的变化时判断所述指令完成条件在所述预定时间内未满足。

优选地，所述指令执行的控制方法还包括在配置文件中配置全部指令的指令信息以及全部所述指令的状态信息，每一个所述指令所对应的指令对象和状态对象根据所述配置文件创建。

优选地，当接收所述上位机发出的多个指令时，同时根据该些指令对应的指令对象中所存储的指令信息控制所述半导体设备执行该些指令，并根据该些指令对应的状态对象所存储的指令完成条件是否满足而更新该些状态对象中的指令执行状态。

本发明还提供了一种指令执行的控制装置，用于在半导体工艺过程中控制半导体设备执行上位机发出的指令并向所述上位机反馈指令执行状态。所述指令执行的控制装置包括：对象创建模块，接收模块，控制模块和输出模块。其中对象创建模块用于对每一个指令创建对应的指令对象，以及对每一个所述指令创建对应的状态对象；其中所述指令对象中存储其对应指令的指令信息，所述状态对象中存储其对应指令的状态信息，所述状态信息包括指令完成条件及指令执行状态；接收模块用于接收所述上位机发出的指令；控制模块与所述接收模块、对象创建模块相连，根据该接收的指令所对应的指令对象中存储的指令信息控制所述半导体设备执行该指令，并根据该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件是否满足而更新该状态对象中的指令执行状态；当所述状态对象中的指令执行状态更新时，所述控制模块触发所述输出模块将更新的所述指令执行状态输出至所述上位机。

优选地，所述指令信息包括指令名称，指令执行条件，指令执行步骤，指令执行地址；所述输出模块中具有状态更新通道，通过所述状态更新通道将更新的所述指令执行状态输出至所述上位机，所述状态信息还包括状态名称，所述状态更新通道的名称，状态检测地址。

优选地，所述控制模块在该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件满足时，更新该状态对象中的指令执行状态并通过所述状态更新通道输出至所述上位机；在该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件在预定时间内未满足时更新该状态对象中的指令执行状态为指令执行失败，并将该指令执行失败的信息输出至所述上位机。