[发明专利]半导体工艺的报警处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工艺设备控制技术领域，特别涉及一种半导体工艺的报警处理方法。

背景技术

当半导体工艺过程中发生设备运作异常时，会发出报警信息并进行相应处理，从而达到维护工艺安全、保护半导体设备的目的。目前，在半导体处理工艺中所采用的报警处理方法是通过一个数据库文件设定每个报警信息所对应的处理方式，由此当发出报警信息时，根据该报警信息所对应的处理方式处理。然而，这种处理方式的缺陷在于，不论任何情况下，同一报警信息产生后的处理方式是固定的。由于在半导体处理工艺的各个工艺步骤中，相同报警信息对工艺产生的影响不尽相同，因此若在不同工艺步骤中，均以相同的处理方式对待同一报警信息，例如终止工艺，则当该报警信息对工艺步骤产生影响较小时，也会使工艺终止，不利于对设备的保护，更会造成生产损失、降低工艺的成功率。

发明内容

本发明的主要目的旨在提供一种能够实现在不同工艺步骤中对同一个报警事件进行不同处理的方法，以降低异常情况带来的损失，提高工艺的成功率。

为达成上述目的，本发明提供一种半导体工艺的报警处理方法，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理，所述报警处理方法包括以下步骤：

S1：对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同的所述报警事件所对应的组别不完全相同；

S2：根据发生报警事件的工艺步骤获得该报警事件所对应的组别；以及

S3：以该组别所对应的处理方式进行处理。

优选地，步骤S1进一步包括：建立与所述半导体处理工艺的每一工艺步骤一一对应的多个报警事件表，其中每一所述报警事件表记录全部所述报警事件以及每一所述报警事件对应的组别。

优选地，步骤S2包括：

S21：在工艺菜单中针对每一所述工艺步骤设定第一参数和第二参数，所述第一参数用于表示对应于该工艺步骤的报警事件表，所述第二参数用于表示全部的所述组别所对应的处理方式；

S22：根据所述工艺菜单中针对发生该报警事件的工艺步骤所设定的第一参数获得对应的所述报警事件表；

S23：根据该报警事件表获得该报警事件对应的组别。

优选地，步骤S2为根据针对所述工艺菜单中发生该报警事件的工艺步骤所设定的第二参数以该组别所对应的处理方式进行处理。

优选地，根据所述第二参数的设定，所述多个报警事件表中相同的组别所对应的处理方式相同或不同。

优选地，所述处理方式包括：忽略报警事件、暂停工艺步骤、终止工艺步骤和跳过工艺步骤。

本发明还提供了一种半导体工艺的报警处理系统，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理。所述报警处理系统包括报警事件组别设定模块，报警事件分析模块和报警事件处理模块，其中报警事件组别设定模块用于对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同的所述报警事件所对应的组别不完全相同；报警事件分析模块用于根据发生报警事件的工艺步骤获得该报警事件所对应的组别；报警事件处理模块用于以该组别所对应的处理方式进行处理。

优选地，所述报警事件组别设定模块建立与所述半导体处理工艺的每一工艺步骤一一对应的多个报警事件表，其中每一所述报警事件表记录全部所述报警事件以及每一所述报警事件对应的组别。

优选地，所述报警事件分析模块包括参数设定子模块和报警事件组别获取子模块。其中参数设定子模块用于在工艺菜单中针对每一所述工艺步骤设定第一参数和第二参数，所述第一参数用于表示对应于该工艺步骤的报警事件表，所述第二参数用于表示全部的所述组别所对应的处理方式；报警事件组别获取子模块用于根据所述工艺菜单中针对发生该报警事件的工艺步骤所设定的第一参数获得对应的所述报警事件表，并根据该报警事件表获得该报警事件对应的组别。

优选地，所述报警事件处理模块根据所述工艺菜单中针对发生该报警事件的工艺步骤所设定的第二参数以该组别所对应的处理方式进行处理。

优选地，根据所述参数设定子模块对所述第二参数的设定，所述多个报警事件表中相同的组别所对应的处理方式相同或不同。

优选地，所述处理方式包括：忽略报警事件、暂停工艺步骤、终止工艺步骤和跳过工艺步骤。

本发明所提出的半导体工艺的报警处理方法和系统，能够根据实际情况在不同工艺步骤中对同一报警事件进行区别对待，由此可降低异常情况带来的损失，提高半导体工艺的成功率。