[发明专利]半导体工艺的报警处理方法

权利要求书

1.一种半导体工艺的报警处理方法，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理，其特征在于，所述报警处理方法包括：

S1：对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同的所述报警事件所对应的组别不完全相同；

S2：根据发生报警事件的工艺步骤获得该报警事件所对应的组别；以及

S3：以该组别所对应的处理方式进行处理。

2.根据权利要求1所述的报警处理方法，其特征在于，步骤S1包括：建立与所述半导体处理工艺的每一工艺步骤一一对应的多个报警事件表，其中每一所述报警事件表记录全部所述报警事件以及每一所述报警事件对应的组别。

3.根据权利要求2所述的报警处理方法，其特征在于，步骤S2包括：

S21：在工艺菜单中针对每一所述工艺步骤设定第一参数和第二参数，所述第一参数用于表示对应于该工艺步骤的报警事件表，所述第二参数用于表示全部的所述组别所对应的处理方式；

S22：根据所述工艺菜单中针对发生该报警事件的工艺步骤所设定的第一参数获得对应的所述报警事件表；

S23：根据该报警事件表获得该报警事件对应的组别。

4.根据权利要求3所述的报警处理方法，其特征在于，步骤S3为根据针对所述工艺菜单中发生该报警事件的工艺步骤所设定的第二参数以该组别所对应的处理方式进行处理。

5.根据权利要求1所述的报警处理方法，其特征在于，根据所述第二参数的设定，所述多个报警事件表中相同的组别所对应的处理方式相同或不同。

6.根据权利要求1所述的报警处理方法，其特征在于，所述处理方式包括：忽略报警事件、暂停工艺步骤、终止工艺步骤和跳过工艺步骤。

7.一种半导体工艺的报警处理系统，用于对半导体处理工艺的各工艺步骤所产生的不同报警事件进行相应的处理，其特征在于，所述报警处理系统包括：

报警事件组别设定模块，用于对于每一个所述报警事件根据不同的所述工艺步骤设定对应的组别；其中，不同所述工艺步骤中，相同的所述报警事件所对应的组别不完全相同；

报警事件分析模块，用于根据发生报警事件的工艺步骤获得该报警事件所对应的组别；以及

报警事件处理模块，用于以该组别所对应的处理方式进行处理。

8.根据权利要求7所述的报警处理系统，其特征在于，所述报警事件组别设定模块建立与所述半导体处理工艺的每一工艺步骤一一对应的多个报警事件表，其中每一所述报警事件表记录全部所述报警事件以及每一所述报警事件对应的组别。

9.根据权利要求8所述的报警处理系统，其特征在于，所述报警事件分析模块包括：

参数设定子模块，用于在工艺菜单中针对每一所述工艺步骤设定第一参数和第二参数，所述第一参数用于表示对应于该工艺步骤的报警事件表，所述第二参数用于表示全部的所述组别所对应的处理方式；以及

报警事件组别获取子模块，用于根据所述工艺菜单中针对发生该报警事件的工艺步骤所设定的第一参数获得对应的所述报警事件表，并根据该报警事件表获得该报警事件对应的组别。

10.根据权利要求9所述的报警处理系统，其特征在于，所述报警事件处理模块根据所述工艺菜单中针对发生该报警事件的工艺步骤所设定的第二参数以该组别所对应的处理方式进行处理。

11.根据权利要求10所述的报警处理系统，其特征在于，根据所述参数设定子模块对所述第二参数的设定，所述多个报警事件表中相同的组别所对应的处理方式相同或不同。

12.根据权利要求7所述的报警处理系统，其特征在于，所述处理方式包括：忽略报警事件、暂停工艺步骤、终止工艺步骤和跳过工艺步骤。