[发明专利]板状被搬送物的传送方法、传送装置及图案形成装置

权利要求书

1.一种板状被搬送物的传送方法，将由第一保持器件以支撑下表面周缘部的状态保持的板状被搬送物传送至第二保持器件，该第二保持器件是在所述第一保持器件的上方吸附保持所述板状被搬送物的上表面，该板状被搬送物的传送方法的特征在于包括：

第一吸附步骤，使第一吸附构件自上下方向贯穿地设置在所述第二保持器件的第一贯穿孔下降，吸附保持由所述第一保持器件保持的所述板状被搬送物的上表面的第一吸附位置；

第二吸附步骤，使第二吸附构件从与所述第一贯穿孔不同的位置处上下方向贯穿地设置在所述第二保持器件的第二贯穿孔下降，吸附保持所述板状被搬送物的上表面中与所述第一吸附位置不同的第二吸附位置；及

移动步骤，使保持着所述板状被搬送物的所述第一吸附构件及所述第二吸附构件升起，分别后退至所述第一贯穿孔内及所述第二贯穿孔内，使所述板状被搬送物自所述第一保持器件移动至所述第二保持器件。

2.根据权利要求1所述的板状被搬送物的传送方法，其特征在于：

所述第一吸附步骤是如下步骤：使所述第一吸附构件下降与由所述第一保持器件保持的所述板状被搬送物在所述第一吸附位置处的弯曲导致的位移量对应的距离，

所述第二吸附步骤是如下步骤：使所述第二吸附构件下降与由所述第一保持器件保持的所述板状被搬送物在所述第二吸附位置处的弯曲导致的位移量对应的距离。

3.一种板状被搬送物的传送装置，将由第一保持器件以支撑下表面周缘部的状态保持的板状被搬送物传送至第二保持器件，该第二保持器件是在所述第一保持器件的上方吸附保持所述板状被搬送物的上表面，且该板状被搬送物的传送装置的特征在于包括：

第一吸附构件及第二吸附构件，吸附保持所述板状被搬送物的上表面；及驱动机构部，使所述第一吸附构件沿着第一移动路径升降，该第一移动路径通过上下方向贯穿地设置在所述第二保持器件的第一贯穿孔，并且使所述第二吸附构件沿着第二移动路径升降，该第二移动路径通过在与所述第一贯穿孔不同的位置处上下方向贯穿地设置在所述第二保持器件的第二贯穿孔；

所述驱动机构部是使所述第一吸附构件及所述第二吸附构件下降，分别利用所述第一吸附构件及所述第二吸附构件吸附保持由所述第一保持器件保持的所述板状被搬送物的上表面中相互不同的第一吸附位置及第二吸附位置之后，

使所述第一吸附构件及所述第二吸附构件通过上升而后退至所述第一贯穿孔内及所述第二贯穿孔内，使所述板状被搬送物自所述第一保持器件移动至所述第二保持器件。

4.根据权利要求3所述的板状被搬送物的传送装置，其特征在于：所述驱动机构部包括：

升降机构，用来使所述第一吸附构件及所述第二吸附构件升降；

移动构件，利用所述升降机构而在所述第一吸附构件及所述第二吸附构件的上方沿上下方向升降；

第一连结构件，将所述移动构件与所述第一吸附构件相互连结，使所述第一吸附构件与所述移动构件一起升降，并且具有位置调整功能，在所述第一吸附构件与所述板状被搬送物的上表面抵接后所述移动构件进一步下降时，使所述第一吸附构件对于所述移动构件的相对位置移位，维持所述第一吸附构件的高度位置；以及

第二连结构件，将所述移动构件与所述第二吸附构件相互连结，使所述第二吸附构件与所述移动构件一起升降，并且具有位置调整功能，在所述第二吸附构件与所述板状被搬送物的上表面抵接后所述移动构件进一步下降时，使所述第二吸附构件对于所述移动构件的相对位置移位，维持所述第二吸附构件的高度位置。

5.一种图案形成装置，将保持在下载台的上表面的橡皮布、与吸附保持在配置于所述下载台上方的上载台的下表面的板状物体相互压抵而形成图案，且该图案形成装置的特征在于包括：

搬送器件，在支撑着图案形成前的板状物体的下表面周缘部的状态下，将所述板状物体搬送至所述上载台与所述下载台之间；及

传送器件，将所述板状物体自所述搬送器件传送至所述上载台；且

所述传送器件包括：

第一吸附构件及第二吸附构件，吸附保持所述板状物体的上表面；及

驱动机构部，使所述第一吸附构件沿着第一移动路径升降，该第一移动路径通过上下方向贯穿地设置在所述上载台的第一贯穿孔，并且使所述第二吸附构件沿着第二移动路径升降，该第二移动路径通过在与所述第一贯穿孔不同的位置处上下方向贯穿地设置在所述上载台的第二贯穿孔；

所述驱动机构部使所述第一吸附构件及所述第二吸附构件下降，分别利用所述第一吸附构件及所述第二吸附构件吸附保持由所述搬送器件保持的所述板状物体的上表面中相互不同的第一吸附位置及第二吸附位置之后，

使所述第一吸附构件及所述第二吸附构件通过上升而后退至所述第一贯穿孔内及所述第二贯穿孔内，使所述板状物体自所述搬送器件移动至所述上载台。