[发明专利]液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置

权利要求书

1. 一种液体喷射头，具备：

致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道；

公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及

个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面，

所述液体喷射头的特征在于，

所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列，

在所述致动器基板的所述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘，

在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘，

在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部。

2. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

具备与所述致动器基板连接的外部基板，

所述外部基板具备：

多个形成在与所述致动器基板的所述个别电极用焊盘对应的位置的、与所述个别电极用焊盘连接的个别电极用端子；以及

多个形成在与所述致动器基板的所述公共电极用焊盘对应的位置的、与所述公共电极用焊盘连接的公共电极用端子，

在所述个别电极用端子与所述公共电极用端子之间、与所述致动器基板的所述槽部对应的位置，形成有将多个所述公共电极用端子互相连接的连接布线。

3. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述吐出通道靠近所述一侧，从所述吐出通道的所述一侧的端部向所述致动器基板的所述一侧的端面，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部，

所述槽部形成为与所述浅槽部交叉。

4. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述致动器基板的所述第一主面中的所述一侧的边缘部，形成有下降一级的台阶部。

5. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

由所述致动器基板的所述第一主面和所述致动器基板的所述一侧的端面形成的角部被施以倒角。

6. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述吐出通道和所述非吐出通道在所述宽度方向交互并列地排列。

7. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述喷嘴孔位于所述吐出通道的所述另一侧的端部。

8. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述喷嘴孔位于所述致动器基板的第二主面侧的、所述吐出通道中的所述长边方向的中间部。

9. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述非吐出通道从所述致动器基板的所述一侧的端面遍及所述另一侧的端面而形成，

所述个别电极用焊盘以横跨相邻的所述非吐出通道的方式形成。

10. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述公共电极用焊盘及所述个别电极用焊盘的宽度，分别与所述吐出通道的宽度相等。

11. 一种权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备：

掩模材料成膜工序，在压电体基板成膜掩模材料；

掩模形成工序，进行所述掩模材料的构图，形成至少所述个别电极用焊盘及所述公共电极用焊盘的形成区域开口的掩模；

通道形成工序，在所述压电体基板形成所述吐出通道和所述非吐出通道；

电极成膜工序，成膜电极材料；

掩模材料除去工序，除去所述掩模材料；以及

槽部形成工序，形成所述槽部。