[发明专利]一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构及其调节方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜膜层厚度即时可调挡板机构及其调节方法。

背景技术

真空磁控溅射镀膜线可大规模生产低辐射镀膜玻璃以及阳光控制膜玻璃，随着社会的发展人们对节能玻璃的要求越来越严格，目前镀膜行业已经开发出双银低辐射镀膜节能玻璃，但是在生产双银低辐射镀膜玻璃的同时对膜层均匀性要求越来越高，通过以往的气氛补偿调节已经不能满足产品对薄膜均匀性要求，通过在腔体内部安装挡板可满足调节膜层厚度要求，但是挡板安装位置无法一次安装到位，需要根据实际溅射膜厚多次调节方可达到最佳均匀性。

发明内容

本发明的目的克服了以上的不足，提供一种简单易操作的设备根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构及其调节方法。

一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构，包括安装在真空腔体外壁上的第一转动手柄和第二转动手柄、安装在真空腔体内部的传动机构；所述传动机构包括与所述第一转动手柄依次传动连接的第一齿轮、第二齿轮、第一传动轴及第三齿轮；与第二转动手柄依次传动连接的第五齿轮、第六齿轮、第二传动轴及第七齿轮；以及齿轮箱；所述齿轮箱上安装有齿轮箱第一齿轮、齿轮箱第二齿轮、齿轮箱内部齿条轴及挡板；所述齿轮箱第一齿轮与所述第三齿轮传动连接；所述齿轮箱第二齿轮与所述第七齿轮传动连接；所述齿轮箱第一齿轮转动带动齿轮箱内部齿条轴前后移动，所述齿条轴上连接挡板。

所述第一转动手柄和第二转动手柄均带有真空密封套。

所述的挡板具有腰型孔。

一种利用所述机构进行镀膜膜层厚度即时调节的方法，包括以下几个步骤：

第一步、检测靶材溅射后膜层均匀性并分析需要挡板调节位置;

第二步、按照膜层均匀性要求调节腔体外侧大气状态第一转动手柄的旋转方向；

第三步、第一转动手柄转动带动第一齿轮并由链条牵引第二齿轮、第一传动轴及第三齿轮转动，进而牵引齿轮箱内部齿条轴前后移动；

第四步、齿轮箱内部齿条轴前后移动带动挡板前后移动并到达指定位置；

第五步、重复以上步骤可完成挡板另一端移动到达指定位置；

第六步、重新镀膜并测试膜层均匀性；

第七步、分析调整挡板后膜层均匀性并做出是否进一步调整挡板位置；

第八步、调整结束后记录第一转动手柄和第二转动手柄上的手轮刻度并做记录。

所述第七步之后如果需要进一步调整挡板位置时，重复步骤一至步骤六。

本发明的有益效果：

本发明一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构及其调节方法可在大气状态下调节安装在腔体外壁上的转动手柄，通过传动机构传递牵引真空腔体内部活动挡板前后移动从而达均匀性要求，同时根据均匀性变化及时调整，实施简单快捷且效果显著。

附图说明

图1为本发明一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构的内部传动结构示意图；

图2为齿轮箱内部结构示意图；

其中，1、第一传动轴；2、第二传动轴；3、齿轮箱；4、齿轮箱内部齿条轴；5、挡板；A、第一转动手柄；A1、第一齿轮；A2、第二齿轮；A3、第三齿轮；A4、齿轮箱第一齿轮；B、第二转动手柄；B1、第五齿轮；B2、第六齿轮；B3、B4、齿轮箱第二齿轮。

具体实施方式

为了进一步加深对本发明的理解，设备的操作将和附图对本发明做进一步详细描述。

一种根据膜层均匀性曲线变化即时可调挡板机构，包括安装在真空腔体外壁上的第一转动手柄和第二转动手柄、安装在真空腔体内部的传动机构；所述传动机构包括与所述第一转动手柄依次传动连接的第一齿轮、第二齿轮、第一传动轴及第三齿轮；与第二转动手柄依次传动连接的第五齿轮、第六齿轮、第二传动轴及第七齿轮；以及齿轮箱；所述齿轮箱上安装有齿轮箱第一齿轮、齿轮箱第二齿轮、齿轮箱内部齿条轴及挡板；所述齿轮箱第一齿轮与所述第三齿轮传动连接；所述齿轮箱第二齿轮与所述第七齿轮传动连接；所述齿轮箱第一齿轮转动带动齿轮箱内部齿条轴前后移动，所述齿条轴上连接挡板。

所述第一转动手柄和第二转动手柄均带有真空密封套。

所述的挡板具有腰型孔。

一种利用所述机构进行镀膜膜层厚度即时调节的方法，包括以下几个步骤：

第一步、检测靶材溅射后膜层均匀性并分析需要挡板调节位置;

第二步、按照膜层均匀性要求调节腔体外侧大气状态第一转动手柄的旋转方向；