[发明专利]一种用于氢化物气相外延的反应器

权利要求书

1.一种立式氢化物气相外延（HVPE）用反应器，其特征为：包括轴对称圆柱型腔体、前驱物通道、衬底、石墨圆盘及支撑杆、整流板、折流装置；其中所述前驱物通道从上至下依次由第一圆筒、过渡段、第二圆筒、裙体扩展段、第三圆筒组成；其特征还在于：所述整流板设置在前驱物通道第一圆筒、第二圆筒或第三圆筒内部；所述折流装置设置在第三圆筒内表面或石墨盘径向外围；所述反应器的下端反应气体排放出口采用径向出口。

2.根据权利要求1所述的HVPE反应器，其特征为：所述反应器前驱物通道的第一圆筒直径小于第二圆筒直径，第二圆筒直径小于第三圆筒直径。

3.根据权利要求1所述的HVPE反应器，其特征为：所述反应器中第一、第二、第三整流板上、下表面都被圆形通孔贯穿，并且所述三块整流板上的圆形通孔孔径大小依次减小，所述每块整流板上至少包含一个等直径圆形通孔。

4.根据权利要求1所述的HVPE反应器，其特征为：所述反应器前驱物通道中第一折流装置内嵌于通道的第三圆筒内表面，其中的折流片呈周向阵列排布。

5.根据权利要求1所述的HVPE反应器，其特征为：所述反应器中第二折流装置位于石墨盘径向外围，其折流片周向阵列排布于环形底板之上，其折流方向与权利4中第一折流装置折流方向保持一致。

6.根据权利要求1所述的HVPE反应器，其特征为：所述反应器中反应气体出口采用径向出口，以径向扩充反应室外腔壁。

7.根据权利要求1所述的HVPE反应器，其特征为：所述反应器中轴对称圆柱型腔体、前驱物通道、整流板、折流装置均采用高纯度石英材质。

8.根据权利要求1所述的HVPE反应器，其特征为；所述反应器既可应用于立式HVPE系统，也可应用于倒立式HVPE系统。