[发明专利]平行四边形截面梳状结构氧化锌及其制备方法有效
| 申请号： | 201410002625.1 | 申请日： | 2014-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN103739004A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 董红星;柳洋;张龙;詹劲馨;李京周 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C01G9/03 | 分类号： | C01G9/03 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平行四边形 截面 结构 氧化锌 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种平行四边形截面梳状结构氧化锌，其特征在于该梳状结构的梳柄的截面为平行四边形，梳齿为截面为四边形或者六边形。
2.根据权利要求1所述的平行四边形截面梳状结构氧化锌，其特征在于梳柄和梳齿的截面的直径均为1-10μm。
3.权利要求1所述的梳状结构氧化锌的制备方法，其特征在于该方法包括下列步骤：
①将Zn粉、Sb2O3粉和碳粉按摩尔比80～400:1:40～100配制原料；
②将所述的原料放入石英舟中，倾斜该石英舟将所述的原料堆至一角，并将覆有Au膜的基片倾斜放置在石英舟内所述的原料的上方，原料表面与所述的基片的表面的距离为2～3mm；
③封闭石英管，将所述的石英舟放入管式炉中，并向管内通入流量为5L/h的高纯氮气约20min，排除管内残余空气之后，调节氮气流量3L/h作保护气，将炉温升至950～1100℃，温度达到后，调节气体流量为氮气3～5L/h，氧气0.01～0.09L/h，反应30～60min，反应完成后，关闭氧气，自然降温到室温。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于所述的基片为单晶硅片、石英片或蓝宝石片。
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