[发明专利]基板夹紧装置

权利要求书

1.一种基板夹紧装置，通过提升部件将由输送机输送来的基板从该基板的宽度方向两侧的下方进行提升，在所述提升部件与位于该提升部件上方的按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧，所述基板夹紧装置的特征在于，

具备上翘矫正单元，所述上翘矫正单元通过在所述提升部件和所述按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧而对所述基板施加朝下的弯曲力矩，以矫正所述基板的上翘，

所述基板夹紧装置构成为，所述按压部件以能够相对于位于所述输送机的宽度方向两侧的导轨移动到上翘矫正位置和通常夹紧位置的方式进行安装，在所述上翘矫正位置，以通过所述上翘矫正单元对所述基板施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板，在所述通常夹紧位置，以不对所述基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其特征在于，

具备：位置显示部，用于识别所述按压部件的位置；相机，拍摄所述位置显示部；及图像处理装置，通过对由所述相机拍摄到的图像进行处理来识别所述位置显示部，确认所述按压部件的位置。

3.根据权利要求1所述的基板夹紧装置，其特征在于，

作为所述按压部件，将被分割的多个按压部件沿所述基板的侧缘部排列，各按压部件以能够单独移动到所述上翘矫正位置和所述通常夹紧位置的方式进行安装。

4.根据权利要求2所述的基板夹紧装置，其特征在于，

作为所述按压部件，将被分割的多个按压部件沿所述基板的侧缘部排列，各按压部件以能够单独移动到所述上翘矫正位置和所述通常夹紧位置的方式进行安装。

5.一种基板夹紧装置，通过提升部件将由输送机输送来的基板从该基板的宽度方向两侧的下方进行提升，在所述提升部件与位于该提升部件上方的按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧，所述基板夹紧装置的特征在于，

具备上翘矫正单元，所述上翘矫正单元通过在所述提升部件和所述按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧而对所述基板施加朝下的弯曲力矩，以矫正所述基板的上翘，

以通过所述上翘矫正单元对所述基板施加了朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板的上翘矫正用按压部件和以不对所述基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板的通常夹紧用按压部件能够互换。

6.一种基板夹紧装置，通过提升部件将由输送机输送来的基板从该基板的宽度方向两侧的下方进行提升，在所述提升部件与位于该提升部件上方的按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧，所述基板夹紧装置的特征在于，

具备上翘矫正单元，所述上翘矫正单元通过在所述提升部件和所述按压部件之间夹入所述基板的侧缘部并夹紧而对所述基板施加朝下的弯曲力矩，以矫正所述基板的上翘，

所述基板夹紧装置构成为，通过将作为所述上翘矫正单元发挥功能的上翘矫正用附件以能够拆装的方式安装于以不对所述基板施加朝下的弯曲力矩的状态夹紧所述基板的通常夹紧用按压部件，对所述基板施加朝下的弯曲力矩。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的基板夹紧装置，其特征在于，

所述上翘矫正单元构成为，通过将所述按压部件的下表面中的与所述基板的侧缘部重叠的重叠部分形成为前端侧向下方突出的倾斜状或突出状，并以所述重叠部分的最低部分的位置比所述提升部件的上端的位置向所述基板的内侧方向偏移的状态，在所述最低部分和所述提升部件的上端之间夹入所述基板的侧缘部，对所述基板施加朝下的弯曲力矩。