[发明专利]图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法

权利要求书

1.一种图像取得装置，其特征在于：

具备：

光源，朝着试样照射光；

导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元；

第1摄像单元，取得由向所述第1光路分支的第1光学图像形成的第1图像；

第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；以及

焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果控制由所述第1摄像单元进行的摄像的焦点位置，

所述第2摄像单元具有设定有取得所述第2光学图像的一部分图像的第1摄像区域以及第2摄像区域的摄像面，

在所述第2光路，配置有沿着所述摄像面的面内方向使连续的光程差产生于所述第2光学图像的光程差生成构件，

还具备沿着所述面内方向控制所述摄像面上的所述第1摄像区域的位置以及所述第2摄像区域的位置中的至少一方的区域控制单元，

所述区域控制单元以所述第1摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔改变的方式沿着所述面内方向变更所述第1摄像区域的位置以及第2摄像区域的位置中的任意一方。

2.如权利要求1所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光程差生成构件为具有厚度沿着所述摄像面的面内方向变化的部分的玻璃构件。

3.一种图像取得装置，其特征在于：

具备：

光源，朝着试样照射光；

导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元；

第1摄像单元，取得由向所述第1光路分支的第1光学图像形成的第1图像；

第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；以及

焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果控制由所述第1摄像单元进行的摄像的焦点位置，

所述第2摄像单元具有设定有取得所述第2光学图像的一部分图像的第1摄像区域以及第2摄像区域的摄像面，

在所述第2光路，配置有沿着所述摄像面的面内方向使连续的光程差产生于所述第2光学图像的光程差生成构件，

还具备沿着所述面内方向控制所述摄像面上的所述第1摄像区域的位置以及所述第2摄像区域的位置中的至少一方的区域控制单元，

所述区域控制单元以所述第1摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔改变的方式沿着所述面内方向变更所述第1摄像区域的位置以及所述第2摄像区域的位置的双方。

4.如权利要求3所述的图像取得装置，其特征在于：

所述光程差生成构件为具有厚度沿着所述摄像面的面内方向变化的部分的玻璃构件。

5.一种图像取得装置的聚焦方法，其特征在于：

所述图像取得装置具备：

光源，朝着试样照射光；

导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元；

第1摄像单元，取得由向所述第1光路分支的第1光学图像形成的第1图像；

第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；以及

焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果控制由所述第1摄像单元进行的摄像的焦点位置，

所述聚焦方法中，

将设定有取得所述第2光学图像的一部分图像的第1摄像区域以及第2摄像区域的摄像面设置于所述第2摄像单元，

将沿着所述摄像面的面内方向使连续的光程差产生于所述第2光学图像的光程差生成构件配置于所述第2光路，

由区域控制单元，沿着所述面内方向控制所述摄像面上的所述第1摄像区域的位置以及所述第2摄像区域的位置中的至少一方，

由所述区域控制单元，以所述第1摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔改变的方式沿着所述面内方向变更所述第1摄像区域的位置以及所述第2摄像区域的位置中的任意一方。

6.如权利要求5所述的图像取得装置的聚焦方法，其特征在于：

作为所述光程差生成构件，使用具有厚度沿着所述摄像面的面内方向变化的部分的玻璃构件。