[发明专利]光学元件、投影装置和光学元件的制造方法

权利要求书

1.一种光学元件，其特征在于，

在基材的表面形成有多个凹部，

所述凹部具有由曲面形成的曲面部，

多个所述凹部形成为：所述凹部的底部的位置在深度方向上为两个以上的不同的位置，

在将所述基材的折射率设为n1、将所述基材的周围的介质的折射率设为n2、将向所述基材入射的光束的波长设为λ并且将多个所述凹部的底部的深度方向上的范围设为Δd的情况下，

2/7≤|(n1－n2)×Δd|/λ≤10。

2.一种光学元件，其特征在于，

在基材的表面形成有多个凸部，

所述凸部具有由曲面形成的曲面部，

多个所述凸部形成为：所述凸部的顶峰部的位置在高度方向上为两个以上的不同的位置，

在将所述基材的折射率设为n1、将所述基材的周围的介质的折射率设为n2、将向所述基材入射的光束的波长设为λ并且将多个所述凸部的顶峰部的高度方向上的范围设为Δd的情况下，

2/7≤|(n1－n2)×Δd|/λ≤10。

3.根据权利要求1或2所述的光学元件，其特征在于，

所述光学元件透射光。

4.一种光学元件，其特征在于，

在基材的表面形成有多个凹部，

所述凹部具有由曲面形成的曲面部，

多个所述凹部形成为：所述凹部的底部的位置在深度方向上为两个以上的不同的位置，

在将所述基材的周围的介质的折射率设为n2、将向所述基材的光束入射的波长设为λ并且将多个所述凹部的底部的深度方向上的范围设为Δd的情况下，

2/7≤|2×n2×Δd|/λ≤10。

5.一种光学元件，其特征在于，

在基材的表面形成有多个凸部，

所述凸部具有由曲面形成的曲面部，

多个所述凸部形成为：所述凸部的顶峰部的位置在高度方向上为两个以上的不同的位置，

在将所述基材的周围的介质的折射率设为n2、将向所述基材入射的光束的波长设为λ并且将多个所述凸部的顶峰部的高度方向上的范围设为Δd的情况下，

2/7≤|2×n2×Δd|/λ≤10。

6.根据权利要求4或5所述的光学元件，其特征在于，

所述光学元件反射光。

7.根据权利要求1或4所述的光学元件，其特征在于，

所述底部按预定的周期排列。

8.根据权利要求2或5所述的光学元件，其特征在于，

所述顶峰部按预定的周期排列。

9.根据权利要求1或4所述的光学元件，其特征在于，

所述底部不规则地形成，

在由二等分线包围的区域内存在有一个所述底部，该二等分线是所述底部按预定的周期排列的情况下的、相邻的点之间的二等分线。

10.根据权利要求2或5所述的光学元件，其特征在于，

所述顶峰部不规则地形成，

在由二等分线包围的区域内存在有一个所述顶峰部，该二等分线是所述顶峰部按预定的周期排列的情况下的、相邻的点之间的二等分线。

11.根据权利要求1、4、7、9中任意一项所述的光学元件，其特征在于，

所述底部具有平坦部。

12.根据权利要求2、5、8、10中任意一项所述的光学元件，其特征在于，

所述顶峰部具有平坦部。

13.根据权利要求11或12所述的光学元件，其特征在于，

所述平坦部包括两种以上大小的平坦部。

14.一种投影装置，其中，

该投影装置包括：

权利要求1～13中任意一项所述的光学元件；以及

光源，其用于射出向所述光学元件入射的光。