[发明专利]聚酰亚胺前体树脂组合物

权利要求书

1.一种树脂组合物，其含有下述(a)～(c)成分，

(a)具有下述通式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体、

(b)下述通式(2)所表示的化合物、

(c)通过活性光线照射产生自由基的化合物，

式中，R¹为4价有机基团，R²为2价有机基团，R³和R⁴各自独立地为氢原子、烷基、环烷基、或者具有碳碳不饱和双键的一价有机基团，R³和R⁴的至少一方为碳原子数1～10的丙烯酰氧基烷基或者碳原子数1～10的甲基丙烯酰氧基烷基，

式中，R⁵表示碳原子数1～4的烷基，R⁶各自独立地为羟基或者碳原子数1～4的烷基，a为0～3的整数，n为1～6的整数，R⁷为下述通式(3)或者(4)中的任一基团，

式中，R⁸为碳原子数1～10的烷基、或者来源于羟基烷基硅烷的1价有机基团，R⁹为碳原子数1～10的烷基、来源于氨基烷基硅烷的1价有机基团或者杂环基，R⁸和R⁹各自可以具有取代基。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述(b)成分为下述化合物中的至少1种，

3.根据权利要求1或者2所述的树脂组合物，所述通式(1)中的R²为下述通式(5)所表示的2价有机基团，

式中，R¹⁰～R¹⁷各自独立地表示氢原子、氟原子或者1价有机基团，R¹⁰～R¹⁷中的至少一个为氟原子或者三氟甲基。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的树脂组合物，所述通式(1)中的R²为通式(6)所表示的2价有机基团，

式中，R¹⁸和R¹⁹各自独立地表示氟原子或者三氟甲基。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的树脂组合物，所述(c)成分为肟酯化合物。

6.一种由权利要求1～5中任一项所述的树脂组合物形成的固化膜。

7.一种固化膜的制造方法，其包含将权利要求1～5中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序、和对涂膜进行加热处理的工序。

8.一种由权利要求5所述的树脂组合物形成的图案固化膜。

9.一种图案固化膜的制造方法，其包含如下工序：将权利要求5所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序；对通过所述工序形成的涂膜照射活性光线后，进行显影而得到图案树脂膜的工序；和对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。