[发明专利]蚀刻方法有效
| 申请号： | 201380054561.3 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104736745B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 中村纪和 | 申请（专利权）人： | 株式会社御牧工程 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;B05D3/10;H01L21/027;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 方法 | ||
1.一种蚀刻方法，其特征在于，其是通过用腐蚀剂使对象物的表面腐蚀来加工所述表面的蚀刻方法，其包括：
抗蚀膜形成步骤：在所述表面喷墨印刷抗蚀液，从而在所述表面利用所述抗蚀液形成抗蚀膜；
表面腐蚀步骤：通过使所述腐蚀剂接触在所述抗蚀膜形成步骤形成了所述抗蚀膜的所述对象物的表面侧，使所述表面中没有形成所述抗蚀膜的部分腐蚀；和
抗蚀膜剥离步骤：在所述表面腐蚀步骤之后从所述表面剥离所述抗蚀膜，
所述抗蚀膜形成步骤是利用含有单官能单体或单官能低聚物和多官能单体或多官能低聚物的所述抗蚀液形成所述抗蚀膜的步骤。
2.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述抗蚀膜形成步骤是利用含有40质量％以上的所述单官能单体或所述单官能低聚物和30质量％以下的所述多官能单体或所述多官能低聚物的抗蚀液来形成所述抗蚀膜的步骤。
3.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述抗蚀膜形成步骤是将紫外线固化型的所述抗蚀液进行UV喷墨印刷的步骤。
4.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述抗蚀膜形成步骤是利用包含丙烯酸异冰片酯作为所述单官能单体的所述抗蚀液形成所述抗蚀膜的步骤。
5.根据权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，所述抗蚀膜形成步骤是利用包含丙烯酸酯作为所述单官能单体的所述抗蚀液形成所述抗蚀膜的步骤。
6.根据权利要求1～权利要求5的任一项所述的蚀刻方法，其特征在于，所述抗蚀膜形成步骤是利用包含胺改性丙烯酸低聚物作为所述多官能单体的所述抗蚀液形成所述抗蚀膜的步骤。
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