[发明专利]玻璃基板的研磨方法在审
| 申请号： | 201380039310.8 | 申请日： | 2013-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104487395A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 鸟井秀晴 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C19/00 | 分类号： | C03C19/00;B24B1/00;B24D3/00;G11B5/84 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 于洁;王海川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 研磨 方法 | ||
1.一种玻璃基板的研磨方法，
包括：
使用第一研磨砂轮对玻璃基板进行研磨的第一研磨工序、和
使用平均粒径比所述第一研磨砂轮的平均粒径小的第二研磨砂轮对所述玻璃基板进行研磨的第二研磨工序，
所述第二研磨砂轮包含含有平均粒径为0.5～10μm的二氧化铈磨粒和平均粒径为0.5～10μm的金刚石磨粒的研磨磨粒以及由弹性模量为2.5～3GPa的聚酰亚胺树脂构成的结合剂。
2.如权利要求1所述的玻璃基板的研磨方法，其中，所述结合剂中的、所述金刚石磨粒的含量为10体积％～20体积％，所述二氧化铈磨粒的含量为5体积％～30体积％。
3.如权利要求2所述的玻璃基板的研磨方法，其中，所述结合剂中的、所述金刚石磨粒的含量与所述二氧化铈磨粒的含量之和为30体积％以下。
4.如权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的研磨方法，其中，
所述第一研磨工序为在根据所述玻璃基板的形状改变按压所述第一研磨砂轮的力的同时进行研磨的定尺寸研磨工序，
所述第二研磨工序为将所述第二研磨砂轮以一定的力按压到所述玻璃基板上来进行研磨的定压力研磨工序。
5.如权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的研磨方法，其中，
所述第一研磨工序为在根据所述玻璃基板的形状改变按压所述第一研磨砂轮的力的同时进行研磨的定尺寸研磨工序，
所述第二研磨工序也为在根据所述玻璃基板的形状改变按压所述第二研磨砂轮的力的同时进行研磨的定尺寸研磨工序。
6.如权利要求1至5中任一项所述的玻璃基板的研磨方法，其中，
通过所述第二研磨工序使所述玻璃基板的表面粗糙度Ra为8nm以下。
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