[发明专利]太阳电池夹具用静电荷移除

说明书

技术领域

本发明涉及工件处置，且更明确地说，涉及在高产量应用中从工件处置设备移除静电荷。

背景技术

离子注入为用于将更改导电性的杂质引入到工件中的标准技术。在离子源中使所要杂质材料离子化，使离子加速以形成指定能量的离子束，且将所述离子束对准工件的表面。所述离子束中的高能离子穿透到工件材料的主体中且嵌入到工件材料的晶格中以形成具有所要导电性的区域。

离子注入已证明为用以对太阳电池掺杂的可行方法。太阳电池制造产业的两个问题为制造产量以及电池效率。电池效率测量转换为电力的太阳能的量。可能需要较高电池效率以在太阳电池制造产业中保持竞争性。然而，不能为了提高电池效率而牺牲制造产量。

使用离子注入移除现有太阳电池技术所需要的处理步骤(例如，扩散炉)。举例来说，如果使用离子注入来取代炉扩散，那么可移除激光边缘隔离步骤，这是因为离子注入将仅对所要表面掺杂。离子注入还提供执行太阳电池的整个表面的毯覆式注入或仅太阳电池的部分的选择性(或图案化)注入的能力。在高产量下使用离子注入的选择性注入避免用于炉扩散的昂贵且耗时的光刻或图案化步骤。选择性注入还实现新太阳电池设计。此外，已使用离子注入来制造具有较高电池效率的太阳电池。

因此，对离子注入器的制造产量或其可靠性的任何改进对于全世界的太阳电池制造商将为有益的。这可加速采用太阳电池作为替代能源。

发明内容

一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。所述交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过所述龙门架模块将所述已处理的工件移动回到所述传送机。归因于操作速度，所述末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当所述末端执行器在正常操作期间移动时，其与这些刷子接触。这移除所述末端执行器上的此累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当所述交换模块将矩阵移动到所述装载锁且从所述装载锁移动矩阵时，所述末端执行器在所述刷子上方移动。

附图说明

为了更好地理解本揭示，结合了相应的附图作为参考，其中：

图1为工件处置系统的第一实施例的透视图；

图2为图1所说明的工件处置系统的第一实施例的俯视透视图；

图3为图1所说明的工件处置系统的第一实施例的侧视透视图；

图4A到图4E说明使用图1到图3所说明的工件处置系统进行的工件处置的一个实施例；

图5A到图5E说明使用图6所说明的工件处置系统进行的工件处置的实施例；以及

图6为如图1所说明的龙门架模块的实施例。

具体实施方式

本文中结合太阳电池工件描述工件处置系统。然而，实施例可与其它工件一起使用，例如，半导体芯片、发光二极管(light emitting diodes；LED)、绝缘体上硅(silicon-on-insulator；SOI)芯片或其它装置。工件处置系统可与离子注入器或与像沉积、蚀刻或其它工件处理系统等其它处理设备一起使用。因此，本发明不限于下文描述的具体实施例。

图1到图3所说明的示范性工件处置系统100可使用4×4工件矩阵处理大于约2000个芯片/小时(wph)。当然，可使用其它工件矩阵设计且本文中的实施例不仅限于4×4矩阵。还可使用其它大小，例如，2×2或2×4矩阵。这些附图表示工件处置系统，下文将更详细地描述所述工件处置系统的个别组件。图1显示带模块、龙门架模块、矩阵、构建站、交换机器人以及装载锁的透视图。图2和图3分别显示这些组件的俯视图和侧视图。

此工件矩阵101可放置在具有个别狭槽或凹陷部以固持工件的承载器中。在替代实施例中，不存在用于工件的承载器。矩阵101替代地在处理之前和处理期间由机器人或其它构件处置。在此实例中，矩阵可固持在静电或机械夹钳上，或通过重力固持。

此工件处置系统100从运输盒(cassette)或其它接口转移工件，构建矩阵101，且将矩阵101移动到装载锁102中。还可通过工件处置系统100执行逆向过程以将工件转移回到运输盒或其它接口。装载锁102连接到离子注入器或某一其它处理工具。

在此实施例中，三个带模块106a、106b、106c可从运输盒运输工件。工件的运输可按指定速度、间隔或间距执行。机器人可用以将工件放置到带模块106a、106b、106c上。