[发明专利]太阳电池夹具用静电荷移除无效
| 申请号: | 201380038318.2 | 申请日: | 2015-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN104508814A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
| 发明(设计)人: | 杰森·夏勒;罗伯特·布然特·宝佩特 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 陶敏;臧建明 |
| 地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 太阳电池 夹具 静电荷 | ||
1.一种工件处置系统,包括用于将多个工件从第一位置移动到第二位置的龙门架模块,所述龙门架模块包括:
末端执行器,具有用于抓取所述工件的一个以上夹具;
致动器,移动所述末端执行器;以及
刷子,接地且导电,位于所述末端执行器可到达的位置。
2.根据权利要求1所述的工件处置系统,其中所述刷子包括碳纤维。
3.根据权利要求1所述的工件处置系统,其中所述第一位置包括一个以上带模块,且所述刷子邻近于所述一个以上带模块。
4.一种从工件处置系统的末端执行器移除静电荷的方法,包括:
使用所述末端执行器来从来源抓取工件;
将具有所述工件的所述末端执行器移动到工作区;
将所述工件放置在所述工作区中;
当所述工件正在所述工作区中被处理时,移动所述末端执行器以便使接地且导电的刷子与所述末端执行器接触。
5.根据权利要求4所述的方法,其中所述末端执行器在所述工件完成所述工作区中的处理之前返回到所述工作区。
6.根据权利要求4所述的方法,还包括使用机器人将所述工件从所述工作区移动到装载锁,以从所述装载锁提取已处理的工件,且将所述已处理的工件放置在所述工作区中。
7.根据权利要求6所述的方法,其中所述末端执行器返回到所述工作区以抓取所述已处理的工件。
8.根据权利要求7所述的方法,其中所述末端执行器在所述已处理的工件放置在所述工作区中之前返回。
9.一种从工件处置系统的末端执行器移除静电荷的方法,包括:
使用所述末端执行器来从来源抓取工件;
将具有所述工件的所述末端执行器移动到一位置;
将所述工件放置在所述位置;
返回到所述来源以提取第二工件;以及
当正移动到所述来源且在所述末端执行器不承载工件时,使接地且导电的刷子与所述末端执行器接触。
10.根据权利要求9所述的方法,其中所述末端执行器在移动到所述位置时以第一垂直高度行进,且在返回到所述来源时以小于所述第一垂直高度的第二垂直高度行进。
11.根据权利要求9所述的方法,其中所述位置为目的地。
12.根据权利要求9所述的方法,其中所述位置为工作区,且所述方法还包括在返回到所述来源以提取第二工件之前将工件从所述工作区移动到目的地。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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