[发明专利]用于处理基底的设备和方法

权利要求书

1.一种用于通过使基底(20，30)的表面(32)承受至少第一前体和第二前体的相继表面反应来处理所述基底(20，30)的表面(32)的设备，所述设备包括：

至少一个喷嘴头(6，7)，所述喷嘴头具有两个或者更多个前体喷嘴，用于使所述基底(20，30)的表面(32)承受至少第一前体和第二前体；和

运动机构(8，10)，所述运动机构用于使所述喷嘴头(6，7)以在第一极限位置(B)和第二极限位置(C)之间经过中央位置(A)的非线性振荡运动的方式运动，

其特征在于，所述运动机构(8，10)包括连接至所述喷嘴头(6，7)的第一驱动装置(21，22)和第二驱动装置，以用于互相配合地控制所述第一极限位置和所述第二极限位置(B，C)之间的非线性振荡运动。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述运动机构(8，10)设置用于使所述喷嘴头(6)以在所述第一极限位置(B)和所述第二极限位置(C)之间围绕振荡轴(10)的圆周或者旋转振荡运动的方式运动。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述第一驱动装置(21，22)设置用于使所述喷嘴头(6，7)朝向所述第一极限位置(B)加速以及使所述喷嘴头(6，7)朝向所述第二极限位置(C)减速，并且所述第二驱动装置(23，24)设置用于使所述喷嘴头(6，7)朝向所述第二极限位置(C)加速以及使所述喷嘴头(6，7)朝向所述第一极限位置(B)减速。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第一驱动装置(21，22)设置用于使所述喷嘴头(6，7)在所述第二极限位置(C)和所述中央位置(A)之间加速以及使所述喷嘴头(6，7)在所述中央位置(A)和所述第二极限位置(C)之间减速，并且所述第二驱动装置(23，24)设置用于使所述喷嘴头(6，7)在所述第一极限位置(B)和所述中央位置(A)之间加速以及使所述喷嘴头(6，7)在所述中央位置(A)和所述第一极限位置(B)之间减速。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的设备，其特征在于，所述第一驱动装置(21，22)包括至少一个第一动力供应单元(21)，所述第一动力供应单元向所述喷嘴头(6，7)提供加速动力和减速动力以用于保持所述喷嘴头(6，7)的非线性振荡运动，并且所述第二驱动装置(23，24)包括至少一个第二动力供应单元(23)，所述第二动力供应单元向所述喷嘴头(6，7)提供加速动力和减速动力以用于保持所述喷嘴头(6，7)的非线性振荡运动。

6.根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述第一动力供应单元和第二动力供应单元(21，23)包括电动马达、伺服马达(21)、弹簧驱动件、气动驱动件、磁场驱动件或者其中的两种或更多种的组合，以用于向所述喷嘴头(6，7)提供振荡动力。

7.根据权利要求5或6所述的设备，其特征在于，所述第一动力供应单元和第二动力供应单元(21，23)利用传动装置(26)直接机械地且操作性地连接至所述喷嘴头(6，7)。

8.根据权利要求5至7中的任意一项所述的设备，其特征在于，所述传动装置包括一条或多条带(26)、操作杆组件、链或者齿轮。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述传动装置(26)利用第一驱动轮和第二驱动轮(22，24)操作性地连接在所述第一动力供应单元和第二动力供应单元(21，23)之间。

10.根据权利要求8或9所述的设备，其特征在于，所述传动装置包括金属带(26)，所述金属带布置在所述第一驱动装置和第二驱动装置(21，22，23，24)之间并且连接至所述喷嘴头(6，7)。

11.根据权利要求1至10中的任意一项所述的设备，其特征在于，所述喷嘴头(6)利用摆杆(8)连接至振荡轴(10)以用于形成摆，其中，所述喷嘴头(6)设置成作为摆配重以用于使所述喷嘴头通过振荡摆运动的方式运动。

12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，所述振荡轴(10)基本水平地设置以用于使所述喷嘴头(6)克服重力以摆运动的方式运动；或者所述振荡轴(10)基本竖直地设置以便提供用于使所述喷嘴头(6)运动的扭转摆。