[发明专利]微镜阵列、其制法以及用于该微镜阵列的光学元件

权利要求书

1.一种微镜阵列，该微镜阵列用于将配置在平板状的光学元件的一面侧的被投影物的镜像成像于相对于该光学元件的元件面与该一面侧呈面对称的另一面侧的空间位置，

该微镜阵列的特征在于，

将两个在透明的平板状基板的一面通过使用旋转刀的切割加工以规定间隔形成有多个相互平行的直线状槽的光学元件以各光学元件的直线状槽的延伸方向在俯视时彼此正交的方式按下述(A)～(C)中任一形态重叠，在该状态下，该两个光学元件构成一组，

(A)一光学元件的形成有直线状槽的表面与另一光学元件的没有形成槽的背面抵接的形态；

(B)各光学元件的形成有直线状槽的表面彼此抵接的形态；

(C)各光学元件的没有形成槽的背面彼此抵接的形态。

2.一种微镜阵列，该微镜阵列用于将配置在平板状的光学元件的一面侧的被投影物的镜像成像于相对于该光学元件的元件面与该一面侧呈面对称的另一面侧的空间位置，该微镜阵列的特征在于，

在构成所述光学元件的一个透明的平板状基板的一面和与该一面相反的一侧的另一面，分别通过使用旋转刀的切割加工以这样的方式并以规定间隔形成有多个相互平行的直线状槽：表面侧的直线状槽与背面侧的直线状槽在俯视时彼此正交。

3.一种微镜阵列的制法，该微镜阵列的制法是用于制造所述权利要求1所记载的微镜阵列的方法，其特征在于，

该微镜阵列的制法包括如下工序：准备透明的平板状的基板的工序；将该基板安装于切割加工机的加工台的规定位置的工序；利用旋转刀在所述基板的一面以规定间隔依次形成多个相互平行的直线状槽的工序；将两个形成有所述直线状槽的基板以各基板的直线状槽的延伸方向在俯视时彼此正交的方式按下述(D)～(F)中任一重叠方法进行重叠而构成一组的工序，

(D)使一基板的形成有直线状槽的表面与另一基板的没有形成槽的背面对齐、重叠的重叠方法；

(E)使各基板的形成有直线状槽的表面彼此对齐、重叠的重叠方法；

(F)使各基板的没有形成槽的背面彼此对齐、重叠的重叠方法。

4.一种微镜阵列的制法，该微镜阵列的制法是用于制造所述权利要求2所记载的微镜阵列的方法，其特征在于，

该微镜阵列的制法包括如下工序：准备透明的平板状的基板的工序；将该基板安装于切割加工机的加工台的规定位置的工序；利用旋转刀在所述基板的一面以规定间隔依次形成多个相互平行的直线状槽的工序；将该基板从所述加工台上暂时卸下、使该基板表背翻转之后将该基板再次安装于该加工台的规定位置的工序；利用旋转刀在所述基板的另一面沿与一面侧的直线状槽在俯视时正交的方向以规定间隔依次形成与所述一面的情况相同的多个相互平行的直线状槽的工序。

5.一种微镜阵列用光学元件，其特征在于，

在透明的平板状基板的一表面以规定间隔形成有多个相互平行的直线状槽。

6.根据权利要求5所记载的微镜阵列用光学元件，其特征在于，

所述直线状槽同与该直线状槽相邻的直线状槽之间的基板表面部分的从槽底算起的高度与该基板表面部分的宽度之比“高度/宽度”为3.0以上。

7.一种微镜阵列，该微镜阵列用于将配置在平板状的光学元件的一面侧的被投影物的镜像成像于相对于该光学元件的元件面与该一面侧呈面对称的另一面侧的空间位置，该微镜阵列的特征在于，

所述微镜阵列是通过将两个所述权利要求6所记载的光学元件上下重叠而构成的。