[发明专利]颗粒吸附微探头

说明书

技术领域

本发明涉及颗粒吸附微探头。详细而言，例如，涉及在分析用途等中，适合用于仅拾取(pick up)1个在分析对象物的表面散布的微细颗粒并运进分析装置内进行分析评价等的颗粒吸附微探头。

背景技术

通过分析评价在构件的表面散布的异物的组成、形状等来阐明在该构件的制造过程中该异物的混入途径等，在提供无异物的清洁构件上是重要的。

作为评价在构件的表面散布的异物的组成、形状的手段，一般使用将钨探头或微型刀(microknife)作为取样工具使用的颗粒吸附探头。通过使用这样的颗粒吸附探头，利用上述取样工具拾取在构件的表面散布的异物并运进分析装置内，分析评价该异物的组成、形状等(例如，参照专利文献1)。

但是，在将钨探头、微型刀作为取样工具使用的颗粒吸附微探头中，为了拾取异物，需要施加在异物中刺入取样工具等的物理性应力。如果施加这样的物理性应力，就会产生表面包覆材料的脱落、表面凹凸-层结构变化等导致表面的原始的结构-组成观察变得困难的问题。

另一方面，为了在不施加物理性应力的情况下拾取异物，如果作为取样工具使用糊剂等粘接剂或双面胶带等胶粘剂，则会存在由在其中所包含的有机成分导致异物表面被污染，不能进行该异物的准确的分析评价的问题。另外，作为取样工具使用上述那样的粘接剂或胶粘剂时，难以从粒径分布宽的颗粒群中选择性地拾取特定粒径的颗粒。

特别是在异物的显微取样中，有时要求只选择性地拾取1个非常微细的颗粒进行分析，但作为取样工具使用上述那样的粘接剂或胶粘剂时，难以选择性地只拾取1个非常微细的颗粒。

另外，在将使用现有的颗粒吸附探头拾取的异物运进分析装置内进行分析评价时，被运进分析装置内的该异物，在分析评价时需要重新用糊剂等固定，工序繁琐复杂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－52232号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题在于提供一种新型的颗粒吸附微探头，其为吸附并拾取非常微细的颗粒的颗粒吸附微探头，在拾取颗粒时不需要施加物理性应力，在拾取颗粒时不会污染异物表面，能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒，在拾取颗粒后，能够直接在分析装置内进行分析评价。

用于解决课题的方法

本发明的颗粒吸附微探头，具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体，仅吸附1个直径为10μm以下的颗粒。

在优选的实施方式中，上述碳纳米管集合体的直径为10μm以下。

在优选的实施方式中，上述碳纳米管集合体的长度为10μm以下。

在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多层，该碳纳米管的层数分布的分布幅度为10层以上，该层数分布的最频值的相对频率为25％以下。

在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多层，该碳纳米管的层数分布的最频值存在于10层以下，该最频值的相对频率为30％以上。

在优选的实施方式中，本发明的颗粒吸附微探头，其中，上述碳纳米管集合体被设置在轴状基材上。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种新型的颗粒吸附微探头，其为吸附并拾取非常微细的颗粒的颗粒吸附微探头，在拾取颗粒时不需要施加物理性应力，在拾取颗粒时不会污染异物表面，能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒，在拾取颗粒后，能够直接在分析装置内进行分析评价。

附图说明

图1是本发明的优选实施方式的颗粒吸附微探头的一个例子的概略截面图。

图2是本发明的优选实施方式的颗粒吸附微探头的另一个例子的概略截面图。

图3是碳纳米管集合体的制造装置的概略截面图。

图4是表示颗粒吸附于实施例1中得到的颗粒吸附微探头的状态的由扫描型电子显微镜(SEM)得到的照片图。

具体实施方式

《颗粒吸附微探头》

本发明的颗粒吸附微探头具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。本发明的颗粒吸附微探头优选至少在前端部分具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。本发明的颗粒吸附微探头通过具有这样的碳纳米管集合体，在拾取颗粒时不需要施加物理性应力，在拾取颗粒时不会污染异物表面，能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒，在拾取颗粒后，能够直接在分析装置内进行分析评价。