[发明专利]太阳能电池的电极用导电性膏剂、太阳能电池及太阳能电池的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及使用于形成太阳能电池的电极的电极用导电性膏剂、具备烧成该电极用导电性膏剂而成的电极的太阳能电池、及该太阳能电池的制造方法。

背景技术

现在，使用的太阳能电池的多数为使用晶体硅基板的晶体硅系太阳能电池。在晶体硅系太阳能电池的制造中，可知以下的方法，即，首先，在一导电型的硅基板的受光面侧形成反向导电型层和防反射膜后，在防反射膜的至少一部分和硅基板的非受光面侧的大致整个面分别印刷导电性膏剂。之后，烧成所印刷的导电性膏剂而形成受光面侧的表面电极和非受光面侧的背面电极。

例如在使用了p型硅基板的太阳能电池中，将银作为主成分的导电性膏剂(以下，称为银膏剂)使用于用以形成表面电极的电极用导电性膏剂。在表面电极的形成工序，在烧成过程中，利用以下被称为烧透的现象，即，通过添加于导电性膏剂的玻璃粉的作用熔融除去存在于导电性膏剂之下的防反射膜而能够在导电性膏剂中的金属成分和硅基板之间成为欧姆接触。

表面电极所要求的特性主要有电特性(接触电阻及配线电阻小等)和机械特性(与基板及内部引线的粘接强度大等)。太阳能电池的电输出用短路电流、开路电压及填充因子(FF(Fill Factor))的积表示，但接触电阻及配线电阻有可能成为决定FF的主要因素。

为了形成改善了上述各特性的电极，公开了各种电极形成用的导电性膏剂。例如在日本特开平11-213754号公报中，公开了向以银粉末、玻璃粉末、有机载体及有机溶媒等作为成分的导电性膏剂中添加有氯化物、溴化物及氟化物的导电性膏剂。另外，例如在日本特表2011-519150号公报中，公开了导电性粒子含有银粒子和从由Pd、Ir、Pt、Ru、Ti及Co构成的组中选择的金属粒子的太阳能电池的格子电极用导电性膏剂。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在具备用以往的银膏剂形成的电极的太阳能电池中，电极的接触电阻等电特性不充分，期望进一步提高电特性。

本发明是鉴于上述的问题点而发明的，其主要目的在于提供一种能够降低电极的接触电阻且对提高太阳能电池的电特性有用的电极用导电性膏剂、具备有烧成该电极用导电性膏剂而成的电极的太阳能电池以及太阳能电池的制造方法。

用于解决课题的手段

为了达到上述目的，本发明的一方式涉及的太阳能电池的电极用导电性膏剂具有：由多数玻璃粒子构成的玻璃粉；将银及铜中的至少一种作为主成分且添加有金属元素A1的非玻璃成分。其中，金属元素A1为从钒、铌、钽、铑、铼、锇中选择的至少一种。

另外，本发明的一方式涉及的太阳能电池具备：半导体基板；配置于该半导体基板的一主面上的第一区域的防反射膜；配置于所述半导体基板的一主面上的作为与第一区域不同的区域的第二区域的、烧成上述太阳能电池的电极用导电性膏剂而成的电极。

另外，本发明的一方式涉及太阳能电池的制造方法，其中，所述太阳能电池具备：半导体基板、配置于该半导体基板的一主面上的第一区域的防反射膜、配置于所述半导体基板的一主面上的作为与第一区域不同的区域的第二区域的电极，所述太阳能电池的制造方法具有：在所述半导体基板的一主面上形成所述防反射膜的第一工序；将上述太阳能电池的电极用导电性膏剂以电极图案配置于所述防反射膜上的第二工序；通过烧成所述电极用导电性膏剂而除去位于该电极用导电性膏剂之下的所述防反射膜，将所述防反射膜配置于所述半导体基板的所述第一区域，并且在所述半导体基板的所述第二区域形成对所述电极用导电性膏剂进行烧成而成的所述电极的第三工序。

发明效果

根据上述构成的太阳能电池的电极用导电性膏剂、太阳能电池及太阳能电池的制造方法，能够提供提高了太阳能电池的电特性及可靠性的太阳能电池。

附图说明

图1是从受光面侧观察本发明的一方式涉及的太阳能电池的一例的俯视示意图。

图2是从非受光面侧观察本发明的一方式涉及的太阳能电池的一例的俯视示意图。

图3是示意性地表示本发明的一方式涉及的太阳能电池的一例的图，是在用图1的K-K线的点划线表示的区域截断的剖视图。

图4(a)～(e)是分别示意性地表示本发明的一方式涉及的太阳能电池的制造方法的一例的太阳能电池的剖视图。

图5是从背面侧观察的本发明的一方式涉及的太阳能电池的一例的俯视示意图。

图6是表示本发明的一方式涉及的太阳能电池的一例的示意图，是在用图5的L-L线的点划线表示的区域截断的剖视图。

图7是表示铑含量和光电转换效率的关系的曲线图。