[发明专利]化合物、聚合物、固化性组合物、涂布用组合物、以及具有固化膜的物品、具有亲液性区域和拒液性区域的图案的物品及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有拒液性且能通过紫外线照射而亲液化的化合物、具有拒液性的聚合物、固化性组合物、涂布用组合物、以及具有固化膜的物品、具有亲液性区域和拒液性区域的图案的物品及它们的制造方法。

背景技术

在半导体元件、显示器、发光元件等领域，多种功能性薄膜已实用化。功能性薄膜是将具有所需特性的材料配置在所需位置并将其图案化而得的薄膜。例如，在薄膜晶体管领域，提出了如下所述的制造方法：在基材表面形成具有拒液性的固化膜，对该固化膜表面局部地照射紫外线以使照射过紫外线的部分亲液化，使电极用组合物选择性地附着于固化膜的亲液化的部分，从而形成电极。该方法与基于光刻的方法相比，是能以较少的工序简便地形成所需图案的电极的方法，正受到关注。

作为形成能通过紫外线照射而亲液化的具有拒液性的固化膜的材料，例如提出了下述材料。

(1)包含光催化剂(二氧化钛等)和粘合剂(有机聚硅氧烷等)的材料(专利文献1)。

(2)包含能通过紫外线照射而分解、除去的低分子量的含氟化合物的组合物(专利文献2)。

(3)侧链上具有疏水性基团的聚酰亚胺(专利文献3)。

(4)主链上具有硫羟酸酯键的聚酰亚胺(专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：专利特许第4300012号公报

专利文献2：国际公开第2005/054256号

专利文献3：日本专利特开2005-310962号公报

专利文献4：国际公开第2008/133300号

发明内容

发明所要解决的技术问题

用(1)的材料形成具有拒液性的固化膜的情况下，光催化剂仍然残存在该固化膜中。具有功能性薄膜的物品是薄膜晶体管、半导体元件等的情况下，固化膜是绝缘膜，因此绝缘膜中残存的光催化剂会对绝缘膜的特性(绝缘性等)造成不良影响。

用(2)的包含含氟化合物的组合物形成具有拒液性的固化膜的情况下，因为含氟化合物的分子量较低，所以含氟化合物均匀地分散在该固化膜中，含氟化合物不会更多地存在于固化膜的表面(基材的相反侧)。因此，固化膜表面的拒液性有时会不足。此外，所得的固化膜的绝缘特性有时会不足。

用(3)、(4)的聚酰亚胺形成具有拒液性的固化膜的情况下，聚酰亚胺会吸收较长波长侧的紫外线(例如波长300nm以上的紫外线)。因此，使用高压汞灯(i线365nm)、YAG激光器(3倍波355nm)等常用作紫外线光源的光源的情况下，灵敏度不足。此外，最近有时要求与聚酰亚胺相比介电常数更低的材料。

本发明的目的是提供一种化合物和聚合物，该化合物和聚合物的拒液性良好，通过波长300nm以上的紫外线照射在分子内发生分解，含氟代烷基的分解残基能够脱离。

本发明的目的是提供一种固化性组合物和涂布用组合物，该固化性组合物和涂布用组合物能形成绝缘性和拒液性良好、即使照射波长300nm以上的紫外线也能充分地亲液化的具有拒液性的固化膜。

本发明的目的是提供一种具有绝缘性和拒液性良好的固化膜的物品。

本发明的目的是提供一种绝缘性良好、且具有亲液性区域和拒液性区域的图案的物品及其制造方法。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明提供具有以下[1]～[15]的构成的化合物、聚合物、固化性组合物、涂布用组合物、以及具有固化膜的物品、具有亲液性区域和拒液性区域的图案的物品及其制造方法。

[1]下式(m1)表示的化合物；

[化1]

其中，

R¹为氢原子、碳数1～6的烷基或苯基；

R²为单键或不含氟原子的2价有机基团；

Cf为碳数1～20的氟代烷基或碳原子间具有醚性氧原子的碳数2～20的氟代烷基；

X为氧原子、硫原子、氮原子或NH；

m在X为氧原子、硫原子或NH时为1，在X为氮原子时为2；

n为0～4的整数；

k为0或1；

Z为R⁴R⁵C＝CR³-CO-；

R³、R⁴和R⁵分别独立地为氢原子或甲基。