[发明专利]氧化物结晶薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种氧化物结晶薄膜的制造方法，其中，具备：将使含有镓化合物和铟化合物中的至少一种和水的原料溶液进行微粒化而生成的原料微粒通过载气供给至成膜室中，在所述成膜室内配置的被成膜试样上形成氧化物结晶薄膜的工序，所述镓化合物和铟化合物中的至少一种为溴化物或碘化物。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述原料溶液含有溴化或碘化镓。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中，所述原料溶液含有溴化或碘化铟。

4.如权利要求1～3中任一项所述的方法，其中，所述薄膜具有在某一结晶轴上取向的结晶。

5.如权利要求1～4中任一项所述的方法，其中，所述薄膜具有刚玉结构。

6.如权利要求5所述的方法，其中，所述薄膜为α型In_XAl_YGa_ZO₃，在所述In_XAl_YGa_ZO₃中：0≤X≤2、0≤Y≤2、0≤Z≤2、X+Y+Z=1.5～2.5。

7.如权利要求1～6中任一项所述的方法，其中，所述被成膜试样以及所述薄膜具有刚玉结构。

8.如权利要求1～7中任一项所述的方法，其中，所述原料溶液含有铝的有机金属络合物。

9.如权利要求1～8中任一项所述的方法，其中，所述原料微粒包含：将含有镓化合物和铟化合物中的至少一种和水的第1原料溶液、和含有铝的有机金属络合物和水的第2原料溶液分别进行微粒化而生成的第1原料微粒和第2原料微粒，

第1以及第2原料微粒在所述成膜室之前或成膜室内进行混合。

10.如权利要求1～4中任一项所述的方法，其中，在所述原料溶液中含有镓化合物，所述薄膜为具有βGallia结构的结晶。