[实用新型]一种蒸镀炉电极有效

专利信息
申请号: 201320577686.1 申请日: 2013-09-17
公开(公告)号: CN203513783U 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 陈海婴 申请(专利权)人: 和宏华进纳米科技(上海)有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201500 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 蒸镀炉 电极
【权利要求书】:

1.一种蒸镀炉电极,包括:

一蒸镀炉炉体,所述蒸镀炉炉体的内部为空腔;

一与所述蒸镀炉炉体枢设的蒸镀炉炉门,所述蒸镀炉炉门可打开或封闭所述蒸镀炉炉体的所述空腔;

所述蒸镀炉炉体的所述空腔内沿水平方向设有一转料盘,所述转料盘的中央沿竖直方向安装所述蒸镀炉电极,所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的支架,所述转料盘可转动地带动所述支架绕所述蒸镀炉电极旋转;其特征在于,

所述蒸镀炉电极包括若干电极支撑杆,每一所述电极支撑杆从上至下设有若干电极连接杆,相邻的两所述电极支撑杆的每一对电极连接杆之间设有电极丝。

2.根据权利要求1所述蒸镀炉电极,其特征在于,所述蒸镀炉电极还包括电极底座和电极顶板,若干所述电极支撑杆沿竖直方向固设于所述电极底座和所述电极顶板之间,并且所述电极底座位于所述转料盘的中央,所述转料盘绕所述电极底座旋转。

3.根据权利要求2所述蒸镀炉电极,其特征在于,所述电极支撑杆的数量为四根,四根所述电极支撑杆围绕形成矩形。

4.根据权利要求3所述蒸镀炉电极,其特征在于,每一所述电极支撑杆从上至下沿水平方向设有两排若干电极连接杆,每一排的所述电极连接杆朝向相同方向,并且两排所述电极连接杆之间的角度近似直角。

5.根据权利要求4所述蒸镀炉电极,其特征在于,若干所述电极连接杆之间的间距相同。

6.根据权利要求4所述蒸镀炉电极,其特征在于,相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆之间相互平行,并且相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆之间位于同一高度。

7.根据权利要求6所述蒸镀炉电极,其特征在于,相邻两所述电极支撑杆的相互靠近的每一所述电极连接杆的头部设有安装平台,每一所述电极丝的两侧位于两所述电极连接杆的安装头部。

8.根据权利要求7所述蒸镀炉电极,其特征在于,每一所述安装平台螺纹连接一用于拧紧所述电极丝的拧紧螺母。

9.根据权利要求4所述蒸镀炉电极,其特征在于,每一所述电极连接杆的尾部弯折形成一弯折部,每一所述电极连接杆通过所述弯折部套设于所述电极支撑杆上。

10.根据权利要求2所述蒸镀炉电极,其特征在于,所述电极底座和所述电极顶板的形状为圆形。

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