[实用新型]一种用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置有效
| 申请号: | 201320536183.X | 申请日: | 2013-08-30 |
| 公开(公告)号: | CN203474954U | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
| 发明(设计)人: | 张学强;黄永恩;范全东 | 申请(专利权)人: | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人: | 李羡民;周晓萍 |
| 地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 改善 径向 梯度 装置 | ||
1.一种用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,其特征在于,它包括固定端(1)、隔热壁(2)和导向平板(3),所述隔热壁为上大下小的筒状,所述导向平板为水平设置的环装板,导向平板固接在隔热壁下端。
2.根据权利要求1所述的用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,其特征在于,所述导向平板(3)下表面分布数圈齿形环(4),相邻齿形环之间形成回流槽(5),所述齿形环的截面形状为锯齿形,各齿形环靠近中心的面为圆锥面,各齿形环远离中心的面为圆柱面。
3.根据权利要求2所述的用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,其特征在于,所述导向平板(3)的边缘处设有与其相连的环装导向竖板(6)。
4.根据权利要求3所述的用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,其特征在于,所述齿形环设置3-5圈,各齿形环(4)的齿高H为10-20毫米,各回流槽(5)的槽底宽度L为2-3毫米,所述齿形环圆锥面斜面与水平方向夹角α为125-135°。
5.根据权利要求4所述的用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,其特征在于,所述固定端(1)位于隔热壁顶端,固定端为环状。
6.根据权利要求5所述的用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,其特征在于,所述隔热壁(2)的壁厚为6-10毫米。
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