[实用新型]用于平台调平的隔震机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体设备机柜的调平，尤其涉及一种用于机柜中平台调平的隔震机构。

背景技术

在大型半导体设备的调平(调整水平)过程中，一方面需要调整半导体设备的整个机柜的柜体与地面垂直，如果有与机柜连接的另一个设备，还需要调整柜体与另一个设备保持平行，这通常是通过调节柜体的各个地脚来实现的。另一方面，机柜中的平台同样需要调整水平，如果依靠调节地脚来调节平台水平是不可行的。这是因为平台的左右重量不一样，进而造成平台下的隔振器的压缩量不同，再加上加工误差，平台与柜体通常不是垂直关系。因此，如果把柜体调整为与地面垂直，那么平台必定不水平，如果把平台调整水平，那么柜体必定与地面不垂直。所以需要把这两个调节独立开来。

实用新型内容

为此，本实用新型的目的在于提供一种用于平台调平的隔震机构，将柜体的垂直调整与平台的水平调整分隔开，同时有效地将平台的振动与柜体隔离。

上述目的可通过以下技术方案来实现：提供一种用于平台调平的隔震机构，所述平台设置在半导体设备的机柜中，其中，所述隔震机构安装于所述机柜中的框架上，并包括支撑所述平台的多个隔震单元，每个所述隔震单元包括：连接板，其支撑所述平台；安装座，所述连接板可调节高度地安装于所述安装座上；隔震元件，其设置于所述安装座和所述框架之间。

根据一种实施方式，所述安装座包括连接杆座和从所述连接杆座垂直向上延伸出的连接杆。

进一步地，所述连接板的一端上设有通孔，所述连接杆穿过所述通孔并通过锁紧元件将所述连接板锁紧在所述连接杆上，所述连接板的另一端支撑所述平台的底部。

根据一种优选实施方式，所述连接板被构造为Z形，包括沿相反方向平行延伸的一对水平部和连接所述一对水平部的竖直部，其中所述一对水平部分别与所述连接杆连接以及支撑所述平台的底部，所述竖直部抵接所述平台的侧面。

有利地，所述连接板通过紧固元件与所述平台固定连接。这里的固定连接可通过本领域技术人员熟知的任意方式来实现，例如所述紧固元件可包括螺钉、胶水等。

有利地，所述连接杆上设有外螺纹，所述锁紧元件为套接于所述连接杆上的螺母。

进一步地，所述螺母可包括位于所述连接板下方的调节螺母和位于所述连接板上方的锁紧螺母。

可选地，所述隔震元件为橡胶。

通过对本实用新型技术方案的概述，不难看出本实用新型的隔震机构至少具有以下有益效果：

1、将“调节平台水平”和“地脚调节柜体”有利地分隔开，更好地实现不同功能；

2、通过拧动调节螺母，可以调节平台的水平，调整完毕后，可以用锁紧螺母锁紧，操作简便；

3、可以实现平台与框架之间的隔振，效果良好。

附图说明

本实用新型的更多特征及优点将通过下面结合附图对具体实施方式的进一步详细说明来更好地理解。附图中：

图1是半导体设备机柜的示意图，示出了根据本实用新型一种实施方式的隔震机构；

图2是图1中隔震机构的放大视图。

具体实施方式

下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

首先参见图1，其示出了半导体设备机柜，在对机柜进行水平和垂直调整的过程中，可通过机柜底部的各个地脚3来调节柜体2与地面保持垂直，然后再通过设置于柜体2中框架9上的隔震机构将柜体2中的平台10调整为与地面保持水平。其中，有利地是，隔震机构包括沿平台10的周边设置的多个隔震单元1，图中仅示例性示出一个，举例来说，可在平台10的相对两个侧面设置两个隔震单元1，或者可在平台10的四个角部设置四个隔震单元1。以这种方式，将柜体2的垂直调整与平台10的水平调整分隔开，两者互不影响，从而有利地确保调整的精确性和可靠性。此外，隔震单元1能够将平台10的振动与框架9隔离，起到了很好的隔振效果。

具体参见图2，其示出了隔震单元1的一种示例性结构。根据该实施方式，用于平台调平的隔震机构的隔震单元1包括支撑平台10的连接板6、将连接板6可调节地安装固定的安装座，以及设置在所述安装座和框架9之间的隔震元件8。在该实施方式中，所述安装座包括连接杆座41和从所述连接杆座41垂直向上延伸出的连接杆42，连接板6的一端上设有通孔61，所述连接杆42可穿过所述通孔6并可通过锁紧元件将所述连接板6锁紧在连接杆42上，所述连接板6的另一端则支撑平台10的底部。