[实用新型]电动热屏提升装置有效
| 申请号: | 201320478123.7 | 申请日: | 2013-08-06 |
| 公开(公告)号: | CN203411653U | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
| 发明(设计)人: | 朱亮;王巍;汤成伟;郭建宇;周建灿 | 申请(专利权)人: | 杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
| 地址: | 310030 浙江省杭州市西湖区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电动 提升 装置 | ||
1.电动热屏提升装置,用于控制直拉硅单晶炉设备中热屏的升降,其特征在于,所述电动热屏提升装置包括脉冲发生器和至少两个提升装置,提升装置包括电动装置、直线运动单元、调节旋钮、密封座、波纹管、提升杆和提升爪,提升爪连接在提升杆的一端,能对热屏提供支撑,提升杆的另一端通过波纹管与密封座再与调节旋钮连接,密封座安装在直线运动单元上,直线运动单元用于提供密封座进行直线运动的轨道,直线运动单元与电动装置相连,所述电动装置包括电机及驱动器;脉冲发生器与各个驱动器分别相连接。
2.根据权利要求1所述的电动热屏提升装置,其特征在于,所述密封座内设有X型圈,提升爪通过密封座的X型圈。
3.根据权利要求1所述的电动热屏提升装置,其特征在于,所述调节旋钮用于手动控制提升爪和热屏的分开、衔接。
4.根据权利要求1所述的电动热屏提升装置,其特征在于,所述电机为步进电机,驱动器为步进电机驱动器。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的电动热屏提升装置,其特征在于,所述电动热屏提升装置水平安装在直拉硅单晶炉的炉盖上。
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