[实用新型]全自动IC及LED测试一体化系统

权利要求书

1.一种全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，包括探针台模块和测试机模块，所述探针台模块包括输送晶圆的片盒升降机构、移动晶圆至测试位置的承片机构和将晶圆由所述片盒升降机构传递至承片机构的上片机构，所述测试机模块包括相连的探卡和测试机，所述探卡与所述承片机构配合并置于所述承片机构的上方，所述测试机与所述承片机构相连，所述承片机构中还包括承片台、第一动力装置和第二动力装置，所述第一动力装置直线驱动所述承片台，所述第二动力装置旋转驱动所述承片台。

2.如权利要求1所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，所述第一动力装置为直线电机，所述第二动力装置为直驱马达。

3.如权利要求2所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，还包括网络服务器，所述网络服务器通过互联网与所述测试机相连。

4.如权利要求3所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，还包括大理石平板，所述承片机构置于所述大理石平板上。

5.如权利要求4所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，所述承片机构还包括导轨和光栅尺。

6.如权利要求5所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，所述片盒升降机构还包括位置传感器。

7.如权利要求6所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，所述片盒升降机构还包括警报器。

8.如权利要求7所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，所述警报器包括警报灯。

9.如权利要求8所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，所述上片机构还包括机械手，所述机械手可绕所述上片机构旋转。

10.如权利要求9所述的全自动IC及LED测试一体化系统，其特征在于，还包括机架，所述探针台模块和测试机模块设于所述机架上。