[实用新型]浆料再生装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种浆料再生装置，通过从在用线锯切断硅锭时所使用的废弃冷却液(有时将其称作“浆料”)去除切削屑等，从而将所述浆料再生为能够再利用的冷却液。

背景技术

太阳能电池等中所用的硅晶片通过用线锯将硅锭切薄而获得。硅锭的切断方式大致分为固定磨粒方式与游离磨粒方式。固定磨粒方式是使磨粒固定于线锯的方式，游离磨粒方式是使磨粒含在作为冷却剂的冷却液中的方式。无论是何种方式，在切断作业过程中，均须对用线锯切断硅锭的部位供应冷却液。由此，切断部位受到冷却，从而从切断部位排出切削屑。切断后的金属硅薄片附着有冷却液或切削屑等，因此，对其进行清洗而获得硅晶片。

在切断硅锭时所使用的废弃冷却液处于包含切削屑和磨粒等的泥状态。因此，废弃冷却液有时被称作浆料。为削减成本，对浆料进行再利用。但是，若直接进行再利用，则会因混入的切削屑等而导致硅晶片的表面划伤，或硅晶片发生破损，或线锯发生劣化。对此，例如通过国际公开第2013/035438号中公开的再生方法，从浆料去除切削屑等，将浆料再生为能够再利用的冷却液。

即，国际公开第2013/035438号中公开的浆料再生方法包括离心分离工序及膜分离工序。离心分离工序是对浆料进行离心分离，分离为以高浓度含有切削屑等的固体成分(淤泥)和以低浓度含有切削屑等的离心分离液，将固体成分去除，并将离心分离液混合到浆料中使其循环的工序。膜分离工序是对浆料进行膜分离，分离为浓缩含有切削屑等的浓缩液和几乎不含切削屑等的膜过滤液，将膜过滤液回收，并将浓缩液混合到浆料中使其循环的工序。并且，通过将在离心分离工序循环的离心分离液与在膜分离工序回收的膜过滤液予以混合，从而将浆料再生为能够再利用的冷却液。

此时，如国际公开第2013/035438号的说明书段落0036～0039中所记载，将从硅锭的切断现场回收的浆料贮存到贮存罐中，从该贮存罐将浆料分配供应到离心分离装置及膜分离装置，在离心分离装置中，一边使所述离心分离液向贮存罐循环，一边进行所述离心分离工序，在膜分离装置中，一边使所述浓缩液向贮存罐循环，一边进行所述膜分离工序。

如上所述，在浆料的再生过程中，从贮存罐向离心分离装置及膜分离装置导出浆料，或者从离心分离装置及膜分离装置向贮存罐导入离心分离液及浓缩液，因此，贮存罐内的浆料量(将其称作“贮存量”)时时刻刻发生各种变化。因此，在浆料的再生过程中，若不掌握贮存量，则有可能导致贮存罐内的浆料枯竭，或浆料从贮存罐溢出。

实用新型内容

本实用新型鉴于浆料再生装置中产生的所述问题而作出，其目的在于提供一种能够掌握贮存罐内的浆料量的浆料再生装置，所述浆料再生装置将废弃冷却液(也就是浆料)再生为能够再利用的冷却液，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒。

本实用新型所涉及的浆料再生装置，是将废弃冷却液亦即浆料再生为能够再利用的冷却液的浆料再生装置，其中，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒，所述浆料再生装置包括：贮存罐，贮存进行再生处理的浆料；以及液面检测装置，用于检测贮存于所述贮存罐中的浆料的液面。

根据本实用新型，由于具备用于检测贮存罐内的浆料的液面的液面检测装置，因此，根据由所述液面检测装置检测到的浆料的液面，能够掌握贮存罐内的浆料量。因此，在浆料的再生过程中，能够抑制贮存罐内的浆料枯竭，或浆料从贮存罐溢出。

另外，在本实用新型中，所谓“磨粒”，例如包括固定磨粒方式中的从线锯脱落的磨粒及游离磨粒方式中的冷却液中所含的磨粒等。

在本实用新型中，较为理想的是，所述液面检测装置包括能够检测指定的下限液面的传感器，所述浆料再生装置还包括供应调整部，所述供应调整部在所述传感器检测到所述下限液面时，将浆料供应到所述贮存罐。

根据该结构，在传感器检测到指定的下限液面时，无须经由人工便能将浆料自动供应到贮存罐。因此，能够可靠地防止贮存罐内的浆料发生枯竭的问题。

另外，在本实用新型中，所谓“下限液面”，例如包括当贮存罐内的浆料量变得少于该下限液面时，无法足以进行浆料再生的程度的液面等。更详细而言，包含如下的液面，即当贮存罐内的浆料量变得少于该下限液面时，向离心分离装置及膜分离装置的浆料供应量不足或中断，其结果，在离心分离装置中，例如淤泥的排出性下降或者发生异常振动的程度的液面，或者在膜分离装置中，例如淤泥在过滤膜的壳体的内部沉降并堆积，从而使导管或过滤膜堵塞的程度的液面等。