[实用新型]氮化炉温度均布装置

权利要求书

1.一种氮化炉温度均布装置，包括炉体（2）、炉底盘（1），炉体（2）与炉底盘（1）扣合形成炉腔，其特征在于：炉底盘（1）上设置阴极盘（8），阴极盘（8）通过底盘支柱（9）与炉底盘（1）连接，阴极盘（8）上安装阴极工装（7）。

2.根据权利要求1所述的氮化炉温度均布装置，其特征在于：所述的阴极工装（7）分内圈、中圈、外圈环向均匀布置在阴极盘（8）上，分布在内圈阴极工装（7）之间的间距及中圈阴极工装（7）之间的间距大于分布在外圈阴极工装（7）之间的间距。

3.根据权利要求1所述的氮化炉温度均布装置，其特征在于：所述的阴极盘（8）上设置阴极支柱（5），阴极支柱（5）顶端连接阴极盖板（4）。

4.根据权利要求1所述的氮化炉温度均布装置，其特征在于：所述的阴极盖板（4）上设置圆柱形凸起。

5.根据权利要求1或2所述的氮化炉温度均布装置，其特征在于：所述的阴极工装（7）由上圆柱体（7.1）、下圆柱体（7.2）组成，上圆柱体（7.1）与下圆柱体（7.2）同轴，且上圆柱体（7.1）直径小于下圆柱体（7.2）。