[实用新型]一种波长可调谐深紫外光激光器

权利要求书

1.一种波长可调谐的深紫外光激光器，其包括：高非线性光学材料（1），高反射镜（2），输出光束准直器（3），分光棱镜（4），泵浦光耦合器（5），色散补偿元件（6），偏振控制器（7），泵浦光功率控制器（8），光学隔离器（9）和光谱滤波片（10）；其中，高非线性光学材料（1）放置在高反射镜（2）的出射端，输出光束准直器（3）放置在高非线性光学材料（1）的输出端，泵浦光耦合器（5）放置在靠近高反射镜（2）的输入端，色散补偿元件（6）放置在泵浦光耦合器（5）入射端前面，偏振控制器（7）放置在色散补偿元件（6）入射端前面，泵浦光功率控制器（8）放置在偏振控制器（7）入射端前面，光学隔离器（9）在泵浦光入射端，光谱滤波片（10）放置在整个光路的出射端；其特征在于：

所述的高非线性光学材料（1）为零色散波长在700-800nm的高非线性光子晶体光纤；

所述的高反射镜(2)为平平镜或者光纤光栅；

所述的输出光束准直器（3）为显微物镜；

所述的泵浦光耦合器（5）为光纤耦合器或光纤波分复用器；

所述的光谱滤波片（10）为镀紫外至深紫外波段高透膜的平平镜；

所述的色散补偿元件（6）为光栅。

2.根据权利要求1所述的一种波长可调谐的深紫外光激光器，其特征在于：高非线性光学材料（1）所用的长度为5-10厘米。

3.根据权利要求1所述的一种波长可调谐的深紫外光激光器，其特征在于：

所述的高反射镜（1）对泵浦光镀增透膜，同时对可见光至深紫外光镀高反膜；所述的输出光光束准直器（4）对可见光至深紫光外镀高透膜。