[实用新型]区熔炉晶棒预热装置

权利要求书

1.区熔炉晶棒预热装置，用于对区熔炉中的多晶棒进行预热，其特征在于，所述区熔炉晶棒预热装置包括预热环、调整块、固定法兰和驱动装置，固定法兰与区熔炉的炉室固定且密封，驱动装置与固定法兰相连，驱动装置的移动轴穿过固定法兰与调整块连接，预热环与调整块相连；所述预热环是低阻硅制作而成的且中心设有倒锥型通孔的圆柱形预热环，所述调整块用于调节预热环与多晶棒和区熔炉中的线圈的间距，所述驱动装置用于为预热环提供进行直线运动的动力。

2.根据权利要求1所述的区熔炉晶棒预热装置，其特征在于，所述调整块为一对分别设有矩形凸起和相对应凹槽的圆柱形法兰。

3.根据权利要求1至2任意一项所述的区熔炉晶棒预热装置，其特征在于，所述驱动装置优选电动缸。