[实用新型]一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构有效
| 申请号： | 201320199021.1 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN203247302U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 薛辉;昌江 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 马荣 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 阴极 更换 翻转 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，所述的真空镀膜设备包括真空室腔体（1），位于真空室腔体（1）上的门（2），以及阴极（3），所述的门（2）和阴极（3）通过转动轴（12）连接，且所述的阴极（3）绕转动轴（12）相对于门（2）做旋转运动，其特征在于：所述的翻转机构包括安装在门（2）上的传动轴（8）以及驱动传动轴（8）转动的驱动电机（4），所述的阴极（3）上设有第一基座（11），第一基座（11）上安装有固定杆（10），且所述的传动轴（8）通过皮带（5）和固定杆（10）连接传动。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，其特征在于：所述的传动轴（8）的两端分别设有带盘（6），且固定杆（10）的两端设有与带盘（6）位置相对应的固定带盘（7），所述的皮带（5）共有两根，分别安装在每一端的带盘（6）和固定带盘（7）上。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，其特征在于：所述的传动轴（8）的两端分别通过第二基座（13）、第三基座（14）安装在门（2）上，且传动轴（8）的其中一端通过轴承座（9）安装在第二基座（13）上。
4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，其特征在于：所述的驱动电机（4）安装在第三基座（14）上。
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