[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 201320175208.8 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN203144505U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 罗阳;贺雄;韩乔楠;孟健 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种清洁装置，其特征在于，包括一进气管，一输气管，一等离子源单元，至少一个镀膜腔体以及与所述镀膜腔体对应的至少一个泵体；
所述进气管气密性连接所述等离子源单元；所述输气管的一端气密性连接所述等离子源单元；每一个所述镀膜腔体与所述输气管的另一端气密性连接，且每一个所述镀膜腔体气密性连接一个所述泵体。
2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，在所述输气管另一端与所述镀膜腔体之间的管路上设置有支路气动阀。
3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，还包括备用等离子源单元及两个第一气动阀，所述备用等离子源单元与所述进气管及所述输气管的一端气密性连接；所述两个第一气动阀分别设置在所述备用等离子源单元与所述进气管及所述输气管连接的端口处。
4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，还包括两个第二气动阀，所述两个第二气动阀分别设置在所述等离子源单元与所述进气管及所述输气管连接的端口处。
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