[实用新型]具有实时清洗功能的两导轮多线切割机

说明书

本实用新型涉及硅片加工领域，具体是一种具有实时清洗功能的两导轮多线切割机。

多线切割技术是目前比较先进的硅片加工技术，被世界范围内绝大多数硅片生产厂家所采用。其原理是将一根极细的钢线相互平行的缠绕在两个或多个导线轮上形成一个水平的切割线网（钢线间的距离由导线轮槽距决定），切割时导线轮带动线网做高速运动，喷砂嘴持续不断地向线网喷射含有磨料的研磨浆液（通常为PEG及SiC的混合液），同时工件台以工艺要求的速度以垂直于线网的方向朝着线网运动，线网将磨料带入待加工工件区域对工件进行磨销，将硅块等硬脆材料切割成数以千计的薄片。

在整个切割过程中，线网的带砂能力及平整度对硅片的质量及成品率起着重要的作用。在实际切割过程中，随着切割的进行，会产生导向条残渣，碎硅屑，金属颗粒等杂质，这些杂质如果附着在钢线上将影响钢线的带砂能力，钢线进入硅块后，由于带砂不足及杂质的影响容易使硅片产生线痕等不良品，同时若杂质混同砂浆团聚在硅片表面也不利于硅片表面的清洁；若杂质附着在导线轮上，极易引起钢线的跳线，严重的甚至断线，影响硅片切割质量及成品率。

本实用新型提供了具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，解决了以往的两导轮多线切割机在进行切割时，钢线上常常附着杂质，影响钢线的带砂能力，进而可能导致硅片产生线痕，同时还可能引起钢线的跳线，严重的甚至断线，影响硅片切割质量及成品率的问题。

本实用新型为解决技术问题主要通过以下技术方案实现：具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，包括输入机构、切割机构、若干砂浆喷管以及若干第一喷吹管，所述砂浆喷管和第一喷吹管上设有若干喷孔，所述输入机构位于切割机构的上方，所述输入机构包括依次固定连接的工作台、工件架以及工件板，所述切割机构包括两个导轮和若干钢线，两个导轮的中心轴线相互平行，导轮上设有若干相互平行的线槽，钢线通过线槽相互平行地缠绕在两个导轮上，所述砂浆喷管和第一喷吹管位于导轮的上方。工件板用于固定待切割的硅片，工作台带动硅片向下运动进行切割；导轮与钢线组成一个高速运行的切割带，同时砂浆喷管将研磨浆液喷在钢线上，当硅片进入切割带后，被高速运行的切割带切割成数以千计的薄片；第一喷吹管可采用压缩空气喷吹的方式，对钢线上的残渣进行喷吹清洁，确保钢线的带砂能力。

进一步地，作为优选方案，本实用新型还包括收集槽，所述收集槽位于两个导轮之间，且收集槽位于输入机构的正下方。在切割的过程中，会产生碎硅片等残渣，用收集槽收集该残渣后，能够避免其过多地附着在钢线上。

进一步地，所述两个导轮的内外侧分别设有内挡板和外挡板。内挡板和外挡板能够阻挡一部分碎屑，防止其飞溅。

更进一步地，所述外挡板与导轮之间设有至少一根第二喷吹管。第二喷吹管能够将钢线上的碎硅屑吹掉，减少钢线上附着的残渣。

所述第二喷吹管的中心轴线与导轮的中心轴线相互平行。

作为优选方案，本实用新型还包括至少一根第三喷吹管，所述第三喷吹管位于两个导轮之间，且位于导轮的中心轴线以下。第三喷吹管是为了进一步减小钢线上的残渣附着，提升钢线的带砂能力。

所述第三喷吹管的中心轴线与导轮的中心轴线相互平行。

所述砂浆喷管垂直于钢线，且砂浆喷管的长度等于或大于导轮的宽度。

所述第一喷吹管与砂浆喷管平行。

所述第一喷吹管与砂浆喷管平行。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点和有益效果：

（1）本实用新型通过设置第一喷吹管，实时地将钢线上的碎硅屑等残渣吹掉，避免残渣影响钢线的带砂能力，进而保证了硅片切割的质量，同时通过增设第二喷吹管、第三喷吹管，进一步提高清洁能力，确保钢线上的残渣被彻底吹干净。

（2）本实用新型通过设置收集槽，将硅片切割过程中产生的碎屑进行收集，防止碎屑散落或附着在钢线上，进而减小残渣对硅片切割的影响。

（3）本实用新型的第一喷水管、第二喷吹管及第三喷吹管还能对钢线起到一定的冷却降温作用，保证切割质量。

图1为本实用新型的实施例1的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例2的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例3的结构示意图；

图4为本实用新型的实施例4的结构示意图；

图5为本实用新型的实施例5的立体图；

图6为本实用新型的实施例5的主视图。

下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例1：