[实用新型]一种辉光放电清洗结构

说明书

技术领域

    本实用新型涉及磁约束聚变装置技术领域，尤其涉及一种辉光放电清洗结构。

背景技术

在目前的磁约束聚变装置中，不管是托卡马克，还是反场箍缩，甚至是仿形器，洁净的真空室和超高的真空度是磁约束聚变等离子体的产生和运行的前期基础。对于目前磁约束聚变反应的真空室，仅依靠外部的真空抽气系统难以达到聚变反应所需要的真空度，这要求在外部真空抽气系统对真空室抽气过程中，还需要依靠一些外部辅助的加热或清洗设备对真空室进行加热烘烤和清洗，使吸附在真空室内侧表面上的一些杂质和气体释放出来，通过外部的真空抽气系统抽走，从而达到聚变等离子体运行所需要的真空度。辉光放电电极就是其中一种放电清洗设备。通过以真空室为阴极，外部置入阳极，阴、阳极之间电压升高到辉光放电的破裂电压时，引发低压气体电子雪崩现象，使气体离子在阴极位降区轰击阴极表面，使真空室表面的杂质和气体释放出来，通过外部真空抽气系统排出，从而达到对真空室清洗作用。目前聚变装置真空室辉光放电清洗结构，基本为固定式结构，一旦其位于真空室内电极头结构受到损坏，聚变反应期间无法及时更换，若要更换，需要开启真空法兰破坏原有的真空环境进入更换，而且固定式辉光清洗结构对真空室清洗在某局部位置存在不均匀性。

实用新型内容

本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种在不破坏原有真空环境条件下，操作简单，易更换，清洗均匀的辉光放电清洗结构。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种辉光放电清洗结构，包括有后套管，所述的后套管右端密封焊接连接一波纹管的左端，后套管的左端通过固定法兰连接前套管的右端，波纹管的左端焊接固定有连接法兰，在连接法兰上固定有芯轴，且芯轴穿进波纹管内部，在所述的波纹管和后套管的外侧设有多根导向杆，所述的导向杆的右端固定在连接法兰上，左端固定在一活动法兰上，所述的活动法兰套在后套管的外侧，在所述的前套管的左端连接有电极头，所述的电极头包括有焊接连接的导电极、陶瓷筒和螺纹套，在所述的前套管的密封槽上压入密封圈，所述的螺纹套的外螺纹与前套管的内螺纹螺旋连接，在所述的导电极上通过螺钉固定有绝缘套和电极帽，一根导线的一端插入所述的导电极中，另一端穿过所述的后套管和波纹管并从连接法兰上穿出。

所述的波纹管为焊接金属波纹管。

所述的导向杆沿着连接法兰的圆周均布，且导向杆均布间隔角度为90度。

所述的导线为铜导体，外表面包绕有绝缘材料。

所述的导电极、陶瓷筒和螺纹套通过真空钎焊连接，导电极和螺纹套材料为无氧铜材料。

本实用新型的工作原理是：本实用新型是一种在尾部驱动力的作用下，通过波纹管来回伸缩，使电极头在真空室内位置可调节和在真空室窗口内可对电极头方便进行更换的结构，电极头通过前套管与后套管可拆卸式固定法兰连接，导线与电极头中的导电极为插入式连接。需要更换时，电极头在尾部的驱动力作用下退缩到真空室窗口内通过插板阀切断内部真空与外界大气的接触，使电极头在真空室窗口内进行更换，而且不需要破坏真空室原有的真空环境。另外，在清洗真空室壁过程中，可以通过调节电极头在真空室中的位置，使真空室壁清洗效果更加均匀，更加彻底。

本实用新型的优点是：本实用新型提出使用一种可往复调节的辉光放电清洗结构，可以既有效的避免破坏原有真空环境方便的更换电极头的问题，又可以通过调节辉光放电电极头在真空室中的位置，保持真空室辉光放电清洗均匀性，同时具有操作简单，安装、拆卸方便，易更换的特点。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型结构剖视图。

图3为电极头剖视放大图。

具体实施方式

如图1、2、3所示，一种辉光放电清洗结构，包括有后套管1，所述的后套管1右端密封焊接连接一波纹管2的左端，后套管1的左端通过固定法兰15连接前套管3的右端，波纹管2的左端焊接固定有连接法兰4，在连接法兰4上固定有芯轴5，且芯轴5穿进波纹管2内部，在所述的波纹管2和后套管1的外侧设有多根导向杆6，所述的导向杆6的右端固定在连接法兰4上，左端固定在一活动法兰7上，所述的活动法兰7套在后套管1的外侧，在所述的前套管3的左端连接有电极头8，所述的电极头8包括有焊接连接的导电极9、陶瓷筒10和螺纹套11，在所述的前套管3的密封槽上压入密封圈，所述的螺纹套11的外螺纹与前套管3的内螺纹螺旋连接，在所述的导电极9上通过螺钉固定有绝缘套12和电极帽13，一根导线14的一端插入所述的导电极9中，另一端穿过所述的后套管1和波纹管2并从连接法兰4上穿出。