[实用新型]真空泵机组有效
| 申请号： | 201320046030.7 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN203051060U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 闫俊平 | 申请（专利权）人： | 常熟耐素生物材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 215500 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 机组 | ||
【权利要求书】：
1.真空泵机组，包括依次连接的前级真空泵、罗茨真空泵和末级真空泵，其特征在于，所述前级真空泵与一变频电机连接以控制所述前级真空泵的抽速。
2.如权利要求1所述的真空泵机组，其特征在于，所述前级真空泵、罗茨真空泵和末级真空泵的排量依次递减。
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