[实用新型]一种可以增大产能的新型石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种生产太阳能电池硅片的的工装夹具，尤其是涉及一种可以增大产能的新型石英舟。 

背景技术

在太阳能电池制备过程中，硅片一般需要经过化学清洗、表面腐蚀、扩散制结、去边、去除背结、制作电极、制作减反膜等工序才能制成电池。扩散制结是向基体硅片掺入杂质元素，并且杂质元素在扩散温度下向硅内部扩散形成P-N结，常见的扩散方法有涂布源扩散、液态源扩散、固态氮化硼源扩散、二氧化硅乳胶源涂布扩散等。 

扩散采用的载片装置称为石英舟，在扩散之前需要将硅片装入石英舟的槽齿内，然后将扩散的石英舟在送入扩散炉管内以后，进行硅片表面的扩散，而石英舟的槽齿个数直接决定了扩散的单位时间的产能。因为一次扩散所使用的电能等动力条件是恒定的，所以增大扩散的石英舟的产能可以降低生产成本，提高单位时间的产量。现有石英舟扩大产能一般是直接减小槽齿间距，增加硅片数量，这样会增大硅片在高温扩散时因间距过小影响硅片扩散均匀性的风险。 

发明内容

本实用新型目的是提供一种可以增大产能的新型石英舟，以解决现有技术在增加石英舟产能时仅仅是减小相邻齿槽的间距而增加硅片在高温扩散时因间距过小影响扩散均匀性等技术问题。 

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种可以增大产能的新型石英舟，包括舟架，所述舟架顶部对称设置有侧挡杆，舟架内壁底部设置有底部挡杆，挡杆上均设置有放置硅片的齿槽，各齿槽的宽度和间隔均相等。 

作为优选，所述侧挡杆的中心到底部挡杆齿槽底面的距离为100mm，相邻齿槽的中心距为4mm。 

作为优选，所述舟架底部还设置有与底部挡杆垂直的连接棒。 

作为优选，所述齿槽与垂直面呈倾角设置。 

本实用新型具有结构紧凑、简单易用、方便可靠的特点，当待扩散的硅片放入石英舟进行高温扩散时，舟架顶部的侧挡杆会有效的阻挡硅片在高温下的横向形变，而减少槽齿间距可以在石英舟上放置更多的硅片，提高产能的同时保证扩散气体在硅片之间的填充效果，保证硅片表面扩散的均匀性。本实用新型降低了硅片高温扩散不均匀的风险，增加量产能，降低了成本，具有很好的推广和应用价值。 

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图； 

图2是图1的D-D向剖面图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。 

图1是本实用新型的结构示意图，图2是图1的D-D向剖面图。由图可知，该可以增大产能的新型石英舟，包括舟架1，其舟架1顶部对称设置有侧挡杆2，舟架1内壁底部设置有底部挡杆3，挡杆2、3上均设置有数量相同的放置硅片的齿槽4，各齿槽4的宽度和间隔均相等，齿槽4与垂直面呈倾角设置（α=5°）。所述侧挡杆2的中心到底部挡杆3齿槽4底面的距离为100mm，相邻齿槽4的中心距为4mm。所述挡杆2、3的材质为陶瓷或石英。舟架底部还设置有与底部挡杆3垂直的连接棒5，以增加结构强度。 

相比现有的石英舟，本实用新型其侧挡杆2的中心到底部挡杆3齿槽4底面的距离为尺寸E（100mm），齿槽4间距为尺寸F（4mm），在石英舟总体尺寸保持不变的情况下，石英舟的硅片承载量提高了近20%，舟架1顶部的侧挡杆2会有效的阻挡硅片在高温下的横向形变。 

最后，应当指出，以上具体实施方式仅是本实用新型较有代表性的例子。显然，本实用新型不限于上述具体实施方式，还可以有许多变形。凡是依据本实用新型的技术实质对以上具体实施方式所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均应认为属于本实用新型的保护范围。