[发明专利]一种镀膜机坩埚设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜机坩埚设备。

背景技术

热蒸镀方式主要是在真空环境下加热容纳在镀膜机坩埚设备内的有机材料，使升华型或者熔融型的有机材料在高温状态下气化，沉积在有薄膜场效应晶体管TFT结构或者阳极结构的基板上。有机材料的蒸发温度与其裂解温度相差很小，坩埚内部往往温差较大，容易造成蒸镀速率不稳定。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种镀膜机坩埚设备，其可以控制蒸镀速率而使其稳定。

本发明通过如下技术方案实现：一种镀膜机坩埚设备，其中，所述镀膜机坩埚设备包括桶状结构、多个加热器、坩埚、多个温度传感器及多个驱动机构，所述多个加热器纵向分布在所述桶状结构内并用于对所述坩埚内的材料进行加热，所述多个温度传感器纵向分布在所述坩埚内以测量所述坩埚内的温度，所述多个驱动机构用于使所述多个加热器中的至少一个加热器纵向移动以控制所述坩埚内的温度分布。

作为上述技术方案的进一步改进，所述多个加热器包括缠绕在所述桶状结构的内壁上的加热电热丝，所述坩埚位于所述桶状结构内部，所述多个加热器位于所述坩埚的外壁与所述桶状结构的内壁之间。

作为上述技术方案的进一步改进，所述加热电热丝的分布密度沿纵向不同。

作为上述技术方案的进一步改进，所述多个温度传感器包括位于所述坩埚的纵向不同区域的多个热电偶。

作为上述技术方案的进一步改进，所述坩埚的下部设置有隔热垫，所述坩埚的上部设有隔热罩。

作为上述技术方案的进一步改进，所述坩埚具有容纳部及出口部，所述容纳部与所述出口部连通，所述出口部具有一个出气口或多个出气口。

作为上述技术方案的进一步改进，所述多个驱动机构包括分别位于所述桶状结构的两侧的左驱动机构组和右驱动机构组，所述左驱动机构组和所述右驱动机构组对称分布。

作为上述技术方案的进一步改进，所述多个驱动机构包括至少十二个驱动机构。

作为上述技术方案的进一步改进，各驱动机构均具有驱动源和传动杆结构，所述传动杆结构用于将驱动源的动力传递至所述至少一个加热器。

作为上述技术方案的进一步改进，所述传动杆结构包括横向传动杆及纵向传动杆，所述横向传动杆与所述驱动源连接并穿过所述桶状结构的壁部与所述纵向传动杆连接，所述纵向传动杆用于驱动所述至少一个加热器纵向移动。

本发明的有益效果是：本发明的镀膜机坩埚设备可以通过驱动机构改变加热器的纵向分布密度，控制坩埚的上下温度分布，进而控制蒸镀速率而使其稳定。

附图说明

图1是根据本发明的一个具体实施例的镀膜机坩埚设备的结构示意图；

图2是用于说明本发明的其他具体实施例的镀膜机坩埚设备内加热电热丝的纵向分布图的一种方式；

图3是用于说明本发明的其他具体实施例的镀膜机坩埚设备内加热电热丝的纵向分布图的另一种方式。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。

如图1所示，本实施例的镀膜机坩埚设备100包括桶状结构112、多个加热器120、坩埚110、多个温度传感器160及多个驱动机构200。其中，所述多个加热器120沿纵向Z分布在所述桶状结构112内并用于对容纳在所述坩埚110内的材料进行加热。所述多个温度传感器160沿纵向Z分布在所述坩埚110内以测量所述坩埚110的各个纵向不同区域的温度。所述多个驱动机构200用于使所述多个加热器120中的至少一个加热器120沿纵向Z移动以控制所述坩埚110内的温度分布。以这种方式，改变加热器的纵向分布密度，控制坩埚的上下温度分布，进而控制蒸镀速率而使其稳定。

在本实施例中，所述多个加热器120包括缠绕在所述桶状结构112的内壁上的加热电热丝122。而且，所述坩埚110位于所述桶状结构112内部，所述多个加热器120位于所述坩埚110的外壁与所述桶状结构112的内壁之间。从图1中可以看出，所述加热电热丝122的分布密度沿纵向Z不同。坩埚110的不同位置的温度，由加热电热丝122的密度决定，通常在坩埚110中从底向上，温度需逐渐升高。