[发明专利]基于AMHS系统的输送车行驶控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路物料输送机台技术领域，尤其涉及一种基于AMHS系统的输送车行驶控制方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm硅片已经逐步取代200mm硅片成为主流，每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统（Automated Material Handling Systems，简称AMHS）作为连接各个制造模块之间输送硅片的纽带的重要性也日益凸显出来。

现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区Stocker之间（走道间系统interbay与走道内系统intrabay）。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有硅片盒堆叠部20（load port），OHT输送车70（overhead hoist transport）能抓起堆叠部20上的硅片盒30，并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110，而硅片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。

一般而言，一个AMHS系统中有多辆输送车同时运行执行任务，如何根据轨道的实时交通情况，选择最合适的输送车来执行搬送任务是困扰技术人员的难题之一。

发明内容

本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种基于AMHS系统的输送车行驶控制方法。

为实现上述目的，本发明提供一种基于AMHS系统的输送车行驶控制方法，其包括以下步骤：

步骤S01，获取目标机台方位；

步骤S02，根据当前轨道交通情况，计算得到当前离目标机台行驶距离最近的1至5辆输送车，并判断它们之中是否存在无任务输送车；

步骤S03，若存在，则向该无任务输送车发出指令前往该目标机台执行任务；若不存在，则根据当前轨道交通情况，计算得到当前任务目标离该目标机台最近的输送车，并发出指令在完成当前任务后前往该目标机台执行任务；

步骤S04，收到指令的输送车到达目标机台。

进一步地，步骤S03中，若存在无任务输送车，则向该无任务输送车之一或距离该目标机台最近的无任务输送车发出指令前往该目标机台执行任务。

本发明的基于AMHS系统的输送车行驶控制方法，首先寻找距离目标机台最近的无任务输送车，若没有，接着寻找任务目标距离目标机台最近的输送车，通过两步法选择最合适的输送车来执行任务，提高了搬送效率。

附图说明

为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中：

图1本发明输送车行驶控制方法第一实施例的流程示意图。

具体实施方式

第一实施例

请参阅图1，本实施例中的基于AMHS系统的输送车行驶控制方法，包括以下步骤：

步骤S01，获取目标机台方位；

步骤S02，根据当前轨道交通情况，计算得到当前离目标机台行驶距离最近的3辆输送车，并判断它们之中是否存在无任务输送车；

步骤S031，若存在，则向距离该目标机台最近的无任务输送车发出指令前往该目标机台执行任务；

步骤S032若不存在，则根据当前轨道交通情况，计算得到当前任务目标离该目标机台最近的输送车，并发出指令在完成当前任务后前往该目标机台执行任务；

步骤S04，收到指令的输送车到达目标机台。

其中，步骤S03中所述当前任务目标离该目标机台最近的输送车是指，当前有搬送任务，而该搬送任务的目标机台距离步骤S01中的目标机台最近。

在其他实施例中，步骤S02中可以根据实际系统的需要和输送车数量，调整选取输送车的数量；步骤S03中也不一定要选择距离最近的那辆无任务输送车。