[发明专利]一种静电放电发生器自动校准系统及校准方法

权利要求书

1.一种静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：包括充电电压校准线路和放电电流校准线路，其中，所述充电电压校准线路包括与ESD发生器（1）相连的第一放电头（2）、与第一放电头对接以采集ESD发生器充电电压的高压探头（3）；所述放电电流校准线路包括第二放电头（6）、电流传感器（7），以及示波器（10），所述第二放电头与ESD发生器（1）相连，检测ESD发生器的电流时，第二放电头（6）对准电流传感器（7），ESD发生器的充电电荷击穿空气形成瞬态电流，该瞬态电流被电流传感器获取。

2.如权利要求1所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述放电电流校准线路进一步包括有同轴衰减器（8），所述同轴衰减器（8）的一端与电流传感器（7）连接，另一端与示波器（10）连接。

3.如权利要求2所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述同轴衰减器（8）通过低损同轴电缆（9）与示波器连接。

4.如权利要求1所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述高压探头的后端连接有高压表（4），所述高压表（4）置于法拉第笼（5）内。

5.如权利要求3所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述电流传感器（7）之后的部分均放置于法拉第笼（5）内。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述第一放电头为圆形，第二放电头为尖形。

7.如权利要求4或5所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述法拉第笼的屏蔽效能不低于40dB。

8.如权利要求4所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述高压探头（3）和高压表（4）组成的充电电压校准系统的准确度不低于1级。

9.如权利要求5所述的静电放电发生器自动校准系统，其特征在于：所述电流传感器（7）、同轴衰减器（8）、低损同轴电缆（9）和示波器（10）形成的放电电流校准系统的Y轴准确度不低于3级，时间准确度不低于10级，所述示波器的贷款不低于1GHz，采样率不低于4GHz。

10.一种基于权利要求1所述的静电放电发生器自动校准系统的校准方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）充电电压校准：设置ESD发生器（1）的充电电压等级，对ESD发生器（1）进行充电，当达到充电电压后，将圆形放电头（2）与高压探头（3）对接，按下ESD发生器（1）放电开关，充电电荷转移到高压探头（3），读取该充电电压值，将该充电电压值与标准规定的参数范围进行比较，若该值在规定的范围内，为合格可以使用，否则不合格，不推荐使用；

（2）放电电流的校准：设置ESD发生器（1）充电电压等级，对ESD发生器（1）进行充电，达到充电电压后，将尖形放电头（6）对准电流传感器（7）的中心部位，按下ESD发生器（1）放电开关，充电电荷击穿空气形成瞬态电流，尖形放电头（6）提取该瞬态电流值，按变比形成感应电压后传送到示波器（10），在示波器（10）中分析并提取各电流峰值和上升时间，将获得的电流峰值与上升时间分别与标准规定的参数范围进行比较，若该值在规定的范围内，为合格可以使用，否则不合格，不推荐使用。