[发明专利]颗粒物质传感器单元

权利要求书

1.一种颗粒物质传感器单元，其包括：

静电感应类型的传感器部分，所述传感器部分在具有电荷的颗粒物质经过所述传感器部分附近时反应；

保护垫，所述传感器部分通过导电膏粘结在所述保护垫的一侧上；

加热器电极，所述加热器电极形成在所述保护垫上并构造成燃烧附着于所述传感器部分上的颗粒物质以消除颗粒物质；以及

传感器电极，所述传感器电极形成在所述保护垫上以将由所述传感器部分产生的信号传输至外部；

其中所述传感器部分包括：

传感器本体，在所述传感器本体的上侧表面上形成硅材料的传感器突出部分；

绝缘层，所述绝缘层覆盖所述传感器本体的上侧和下侧；以及

连接电极，所述连接电极通过没有绝缘层形成的部分连接所述传感器本体和所述传感器电极。

2.根据权利要求1所述的颗粒物质传感器单元，

其中所述传感器电极形成在所述保护垫的上表面，所述加热器电极形成在所述保护垫的下表面，

其中所述导电膏应用在所述保护垫的上表面的一侧上以覆盖所述传感器电极的一部分，以及

其中所述传感器部分粘结在所述导电膏上以固定在所述保护垫的上表面上。

3.根据权利要求1所述的颗粒物质传感器单元，其中所述传感器部分或所述加热器电极包含Pt、Mo和W的至少一种。

4.根据权利要求1所述的颗粒物质传感器单元，其中所述保护垫包含陶瓷材料。

5.根据权利要求1所述的颗粒物质传感器单元，其中所述传感器本体通过蚀刻硅片制造。

6.根据权利要求1所述的颗粒物质传感器单元，其中所述绝缘层由SiO₂或Si₃O₄制得。

7.根据权利要求4所述的颗粒物质传感器单元，其中所述陶瓷材料包含Si₃O₄、莫来石或玻璃陶瓷。