[发明专利]一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置无效
| 申请号： | 201310708963.2 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN104729783A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 任勇 | 申请（专利权）人： | 西安瑞驰信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司 61221 | 代理人： | 李东京 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 新型 密封 元件 寿命 可靠性 压力 传感 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，包括腔体体和引线，其特征在于：所述腔体分为低压腔和高压腔，所述传感器安装快的中心区域开有低压腔和高压腔，所述高压腔与低压腔连接处设有定位用硅杯，所述硅杯与低压腔进气口处连接有引线，所述硅杯上部覆盖有硅膜片。
2.根据权利要求1所述的一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，其特征在于：所述硅杯为采用异性腐蚀技术制作而成的四方锥形斜面体。
3.根据权利要求2所述的一种采用新型密封元件的长寿命高可靠性压力传感装置，其特征在于：所述硅膜片上设有氧化层，所述硅膜片为原平的结构，其两面覆盖有二氧化硅和氮化硅成分。
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