[发明专利]采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器

权利要求书

1.一种采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器，其包括依次设置的MEMS反射镜（8）、光栅（6）、第一光束准直透镜（2）、半导体光增益器件（1）、第二光束准直透镜（3）、光隔离器（4），

其中，所述半导体光增益器件（1）、第一光束准直透镜（2）、MEMS反射镜（8）、光栅（6）构成所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔，

并且，所述宽带可调谐外腔激光器还包括驱动控制器（13），其与所述MEMS反射镜（8）、所述半导体光增益器件（1）连接，

其中，所述半导体光增益器件（1）用来提供所述宽带可调谐外腔激光器的增益，产生宽带多通道光束，

所述第一和第二光束准直透镜（2、3）分别用来形成所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔内部以及输出端的准直多波长光束，

所述光隔离器（4）用来透射所述输出端的准直多波长光束，并隔离回波，

所述光栅（6）用来将所述谐振腔内部的准直多波长光束分解为按波长具有不同色散角的多个光束，

所述驱动控制器（13）用来调节半导体光增益器件（1）的增益，还用来向所述MEMS反射镜（8）提供驱动信号。

2.根据权利要求1所述的宽带可调谐外腔激光器，还包括与驱动控制器（13）连接的微位移器（10），用来根据来自所述驱动控制器（13）的信号，调节所述MEMS反射镜（8）的位置。

3.根据权利要求1所述的宽带可调谐外腔激光器，还包括光束分离器（11）、与所述驱动控制器（13）连接的光探测器（12），

所述光束分离器（11）用来将所述输出端的准直多波长光束分离出一部分，并将分离出的激光光束提供给所述光探测器（12），

所述光探测器（12）用来探测由所述光束分离器（11）分离出的激光光束的光功率，并将探测出的光功率的值提供给所述驱动控制器（13）

所述驱动控制器（13）用来根据从所述光探测器（12）提供的光功率的值，调节半导体光增益器件（1）的增益。

4.根据权利要求1所述的宽带可调谐外腔激光器，其谐振腔内还包括设置在所述光栅（6）和第一光束准直透镜（2）之间的所述栅格滤波器（5），用来使通过半导体光增益器件（1）所产生的宽带多通道光束中的特定波长光束透射，

并且，其中，所述光栅（6）是透射式衍射光栅，其通过色散的方式将经过所述栅格滤波器（5）之后的特定波长光束在空间方向上分离开。

5.根据权利要求4所述的宽带可调谐外腔激光器，其谐振腔内还包括设置在所述光栅（6）和栅格滤波器（5）之间的温度相位补偿器（9），其用来补偿所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔随温度变化产生的相位变化。

6.根据权利要求1至5中的一个所述的宽带可调谐外腔激光器，其中，所述MEMS反射镜（8）根据来自所述驱动控制器（13）的驱动信号而连续旋转镜面，

并且，其中，所述MEMS反射镜（8）采用小镜面悬臂梁结构，其镜面大小与通过所述光栅（6）的光束束斑大小接近。

7.根据权利要求1至5中的一个所述的宽带可调谐外腔激光器，其谐振腔内还包括设置在MEMS反射镜（8）和光栅（6）之间的会聚透镜（7），用来会聚来自光栅（6）的光束，并将会聚后的光束输入到所述MEMS反射镜（8），其中，所述光栅（6）的1级衍射光束正入射到所述会聚透镜（7）。

8.根据权利要求1至5中的一个所述的宽带可调谐外腔激光器，其中，所述驱动控制器（13）通过三角波电压驱动所述MEMS反射镜（8）的驱动端。

9.根据权利要求4或5所述的宽带可调谐外腔激光器，其中，所述宽带多通道光束经过所述光栅（6）被分离以后，90%以上的能量集中在1级衍射光束中。