[发明专利]冷却装置以及真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201310684824.0 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103668083B | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 焦志强;孙力 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 以及 真空 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种冷却装置，用于冷却真空蒸镀设备的蒸发源，其特征在于，所述冷却装置包括：
若干个冷却单元；
驱动单元，用于驱动所述冷却单元包覆所述蒸发源；
设置于所述冷却单元内部的冷却管，所述冷却管包括至少一个冷却液进料口以及至少一个冷却液出料口。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却管在所述冷却单元内部的排布形状呈Z字形。
3.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却管在所述冷却单元内部的排布形状呈圆环形、U字形、锯齿形中的任意一种或几种。
4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括：制冷压缩机，所述制冷压缩机用于向所述冷却管内压入冷却液。
5.根据权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却液包括冷却水、液态二氧化碳、乙醇中的任意一种或几种。
6.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-5任意项所述的冷却装置。
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