[发明专利]一种平板探测器超高真空蒸镀的方法在审
| 申请号： | 201310629061.X | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103710665A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 范波 | 申请（专利权）人： | 江苏龙信电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 李涛 |
| 地址： | 215332 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平板 探测器 超高 真空 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种平板探测器超高真空蒸镀的方法，其特征在于，具体步骤包括：
（1）将衬底用piranha溶液清洗干净后烘干；
（2）将衬底放入真空室内，打开真空泵抽气，提高真空度；
（3）对真空室内的铝棒加高压电，使其产生辉光放电；
（4）一段时间后关掉高压电，再次提高真空度并加热衬底并控制温度；
（5）对蒸发源先通低功率电进行预热，然后在通规定功率的电开始蒸发；
（6）蒸发完毕后停止抽气并开始充气；
（7）最后取出衬底。
2.根据权利要求1所述的一种平板探测器超高真空蒸镀的方法，其特征在于：步骤（1）中所述piranha溶液是将浓硫酸：双氧水按2：1的比例混合配置的。
3.根据权利要求1所述的一种平板探测器超高真空蒸镀的方法，其特征在于：步骤（2）中所述真空度为1.0-0.1Pa。
4.根据权利要求1所述的一种平板探测器超高真空蒸镀的方法，其特征在于：步骤（4）中所述温度控制在200℃<350℃。
5.根据权利要求1所述的一种平板探测器超高真空蒸镀的方法，其特征在于：步骤（4）中所述真空度为< 1.0×10-6Pa。
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